Aluminiumoxid

Al₂O₃, hartes Oxid, das in verschiedenen Modifikationen auftritt, von denen Korund die höchste Härte besitzt. Auf Aluminium-Oberflächen bildet sich in Kontakt mit Luftsauerstoff spontan eine dünne transparente Al₂O₃-Schicht (Selbstpassivierung), die das Aluminium vor weiterer Oxidation schützt. Durch Anodisieren wird diese Oxidschicht und damit ihre Schutzwirkung künstlich verstärkt. Al₂O₃-Oberflächen lassen sich im Plasma mittels Ar-Beschuss oder mittels halogenhaltiger Gase ätzen.