Пластинчатый насос

плазменной технике является механический пластинчатый насос с масляным смазыванием. С его помощью достигаются давления от атмосферного до 10^-3 мбар. При создании сверхвысокого вакуума пластинчатый насос используется в большинстве случаев для создания предварительного вакуума.