Pompa a palette rotativa

Il tipo di pompa più comune nella tecnologia del vuoto e nella tecnologia del plasma è la pompa meccanica rotativa con palette lubrificate ad olio. In questo modo si possono ottenere pressioni da una pressione atmosferica fino a 10-3 mbar. Qualora si intenda generare un vuoto ultraelevato, una pompa a palette rotativa viene solitamente utilizzata per generare il vuoto di supporto.

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