Микропескоструйная обработка

Ионы, ударяющиеся о поверхность субстрата и оказывающие не химическое, а физическое действие – отрывают атомы и молекулы от поверхности. Это может быть часть покрытия поверхности, загрязнение или сам субстрат. Действие такое же, как при пескоструйной обработке с зерном атомарных размеров.