Micro-sablage

Les ions qui rebondissent sur la surface d'un substrat sans y réagir chimiquement peuvent y avoir un effet physique en éliminant les atomes et molécules de la surface. Ceux-ci peuvent faire partie d'un revêtement de surface, d'une contamination ou du substrat lui-même. L'effet est similaire à celui du micro-sablage avec un grain aux dimensions atomiques.