Parylene P30

Parylene-Beschichtungsanlage

Parylene ist die Kurzbezeichnung für die Polymergruppe der Poly(para-Xylylene). Die Polymere bestehen aus verschieden substituierten para-Xylylenen. Die Ausgangsbasis zur Beschichtung sind Dimere. Dabei handelt es sich um einen Molekülverbund, der aus zwei identischen Untereinheiten, den sogenannten Monomeren, besteht.

Eigenschaften und Vorteile:

Parylene-Beschichtungen bieten eine große Bandbreite an Vorteilen. Parylene …

  • sind vollkommen konform: d.h. sie passen sich auch komplexen Substrat-Konturen an wie z.B. scharfen Kanten, Bohrungen oder Sacklöchern
  • sind porenfrei  („pinhole-free“) bereits ab Schichtdicken von ca. 0,5 µm.
  • sind chemisch unlöslich und beständig gegen eine Vielzahl von Chemikalien.
  • weisen sehr gute Barriereeigenschaften gegenüber Feuchtigkeit und Chemikalien auf.
  • besitzen eine hohe elektrische Durchschlagsfestigkeit.
  • besitzen Trockenschmiereigenschaften (niedriger Reibungskoeffizient).
  • sind hydrophob: Kontaktwinkel von H2O zwischen 92°und 98°
  • sind transparent zwischen 90 und 96 % im sichtbaren Wellenlängenbereich (typenabhängig).
  • sind biokompatibel: es lassen sich Parylene der Typen C und N abscheiden, die zertifiziert werden können nach USP Class VI, ISO 10993 und FDA.

Technische Daten

Beschichtungswerkstoff

  • Parylene N, C, D, F-VT4

Mögliche Schichtdicke

  • 0,05 bis zu 50 Mikrometer

Abmessungen

  • Breite ca. 1400 mm
  • Tiefe ca. 700 mm
  • Höhe ca. 1700 mm

Pyrolyse

  • 1,2 kW / max 700 °C

Kammer

  • Durchmesser: 310 mm
  • Höhe: 500 mm

Karussell

  • Durchmesser: 150 mm
  • Höhe: 270 mm

Kühlfalle

  • Flüssigstickstoff

Pumpensystem

  • zweistufige Drehschieberpumpe Leistung 25m3/h

Enddruck

  • 1 x 10-3 mbar

Steuerung

  • PC-basierte Steuerung mit Windows-Betriebssystem 

Abluft

  • 25mm Schlauch

Anschlüsse

  • 400 V / 16 A / 50-60 Hz

Druckluft

  • 5-6 bar trocken und ölfrei

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