Глоссарий технологии обработки поверхностей
Боросиликатное стекло
2 (силикат) и прибл. на 10% из B2O3 (триоксид бора). Остальные 10% занимают другие минералы (Al2O3, K2O, CaO, MgO). Боросиликат обладает очень высокой химической и температурной стойкостью. Боросиликат используется в изготовлении реципиентов и окон плазменных камер , которые должны быть устойчивыми к действию травления.
