Глоссарий технологии обработки поверхностей
Позитивный фоторезист
Фоторезист, полимерный лак, почти нерастворимый после сушки. Однако, лак содержит чувствительную к излучению присадку – так называемый фотоинициатор. Последний под действием света трансформируется в углекислоту H2CO3 , из-за чего слой лака становится очень хорошо растворимым в слабо щелочных растворах. После экспонирования и последующей проявки удаляются только экспонированные участки, неэкспонированные остаются в стабильном состоянии.
