Сухое травление

плазме низкого давления . Процессы  травления в плазме являются сухими методами. В принципе, любой возможный субстрат можно обработать методами сухого травления. Понятие сухого травления охватывает такие методы, как

Таким образом, понятие «Сухое травление» включает в себя все процессы травления, происходящие под действием плазмы. А понятие «Плазменное травление» используется  только в отношении травления из-за химического действия технологических газов. Здесь не исключена путаница. По этой причине целесообразно вместо понятия «Плазменное травление» пользоваться выражениями «Химическое сухое травление» или «chemical dry etching».

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете