Épaisseur de couche

Des épaisseurs de couche entre quelques couches atomiques, c'est-à-dire déjà inférieures à la moitié de 1 nm jusqu'à plusieurs µm, sont constituées par revêtement au plasma enlevées par gravure.  Dans de nombreux cas, même des couches très minces sont fonctionnellement extrêmement efficaces et préférables, par exemple les couches DLC anti-usure ou les couches minces d'oxyde métallique appliquées à dessein, qui empêchent la réaction des zones plus profondes.