Schichtdicke

Schichtdicken zwischen wenigen Atomlagen, also bereits unter halb von 1 nm bis zu mehreren µm werden durch Plasmabeschichten aufgebaut oder durch Ätzen abgebaut. In vielen Fällen sind bereits sehr dünne Schichten funktionell äußerst effektiv und bevorzugt, beispielsweise verschleißschützende DLC-Schichten oder dünner, gezielt aufgebrachte Metalloxidschichten, welche die Reaktion tieferer Bereiche verhindern.