Plaquage ionique assisté par plasma dans lequel un gaz réactif est introduit dans le plasma, qui réagit avec le métal vaporisé pour former une couche de la liaison obtenue. Par exemple, la vapeur de titane peut réagir avec de l'azote pour former une couche de nitrure de titane.
Lors du revêtement avec des couches glissantes, les radicaux se combinent pour former des polymères.