Реактивное ионное осаждение (RIP)

газ помещается в плазму , где вступает в реакцию с испаренным металлом и формирует слой из возникшего соединения. Например, таким способом можно запустить реакцию пара титана с азотом, после которой образуется слой нитрида титана.