Reaktives Ionenplattieren (RIP)

Plasma-gestütztes Ionenplattieren, bei dem ein reaktives Gas ins Plasma eingebracht wird, das mit dem verdampften Metall reagiert und eine Schicht aus der entstehenden Verbindung bildet. Z. B. kann auf diese Weise Titan-Dampf mit Stickstoff zur Reaktion gebracht werden, wodurch sich eine Titannitrid-Schicht bildet.

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