Sverniciatore al plasma

Impianto al plasma appositamente concepito o predisposto per acidatura nel plasma  di ossigeno. Lo sverniciatore al plasma viene utilizzato per rimuovere in particolare le maschere fotoresistenti dopo il completamento del processo di strutturazione. Le fotoresistenze sono costituite da resine organiche rimovibili perfettamente mediante acidatura al plasma isotropo in plasma di ossigeno. Gli strati fotoresistenti possono essere spessi e richiedere pertanto un'elevata velocità di acidatura. L'elevato numero di radicali necessari può essere ottenuto in modo ottimale mediante l'eccitazione a microonde . Lo sverniciatore al plasma dovrebbe quindi essere dotato di un accoppiamento a microonde. Se l'eccitazione del plasma avviene al di fuori della sala di trattamento, non sono presenti ioni efficaci, condizione preferibile per evitare la carica e l'acidatura isotropa del substrato.