Plasma a bassa pressione a basso costoImpianto al plasma Zepto
Impianto al plasma configurabile in modo flessibile per laboratorio e sviluppo
L'impianto Low Cost Zepto coniuga un design compatto con un'elevata funzionalità per applicazioni al plasma professionali. Con un volume della camera di circa 0 - 3 litri, è ideale per applicazioni di laboratorio, ricerca e produzione in piccole serie.
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Impianto al plasma flessibile Low Cost per molteplici applicazioni
L'impianto al plasma Low Cost Zepto coniuga funzionalità e tecnologia all'avanguardia in un alloggiamento compatto. Con un volume della camera fino a 0 - 3 litri, l'impianto è adatto ai componenti e ai campioni di materiale più disparati. A seconda del campo di applicazione, è possibile scegliere tra un controllo semiautomatico o un comodo sistema di controllo via PC Low Cost. Ciò consente di gestire facilmente i processi al plasma e di eseguirli in modo riproducibile.
L’impianto al plasma a bassa pressione Zepto trova impiego in numerosi settori. Tra questi figurano, tra l’altro, la ricerca e lo sviluppo, l’analisi, la tecnologia medica, la tecnologia delle materie plastiche, la tecnologia tessile e la produzione in piccole serie. Ovunque sia necessario pulire, attivare o preparare le superfici per i processi successivi, il Zepto garantisce risultati affidabili.
Grazie alla combinazione di struttura compatta, dotazione flessibile e facilità d’uso, il Zepto è adatto sia agli ambienti di laboratorio che ai processi di sviluppo vicini alla produzione.
Pulizia
L'impianto di laboratorio Plasma a bassa pressione a basso costo Zepto offre soluzioni per la pulizia sterile di precisione di tutte le superfici, per qualsiasi substrato. La pulizia al plasma rimuove tutti i residui organici senza sottoporre il componente a stress chimici o termici.
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Attivare
Il presupposto per l'adesione dei materiali è una buona bagnabilità della superficie. L'attivazione al plasma nell'impianto Plasma a bassa pressione a basso costo Zepto avviene immediatamente dopo la pulizia e aumenta l'energia superficiale.
Ulteriori informazioni
0 - 3 l camera
L'impianto al plasma Zepto è dotato di una camera con volume di 0 - 3 l, ideale per campioni di piccole dimensioni. La camera di processo compatta garantisce tempi di evacuazione ridotti e cicli di processo brevi, per risultati efficienti ed economici. La camera è realizzata in vetro borosilicato, che presenta una particolare resistenza chimica e quindi un elevato grado di purezza. Grazie a queste caratteristiche, il Zepto è ideale per applicazioni nel settore della tecnologia medica, nonché per attività di laboratorio e di ricerca in cui è necessario soddisfare elevati requisiti di purezza. Inoltre, un elettrodo posizionato all’esterno della camera impedisce che si verifichino anche le più minime contaminazioni dovute alla spruzzatura del materiale. Per determinate applicazioni è disponibile anche una bottiglia rotante, che garantisce un trattamento uniforme. Grazie al design ben congegnato del Zepto, Diener electronic soddisfa i rigorosi requisiti di purezza e offre i presupposti per processi sicuri e riproducibili. È inoltre disponibile l’opzione di una camera a campana RIE, che consente l’incisione ionica reattiva come tecnica di incisione a secco. Questo processo trova applicazione soprattutto nella produzione fotolitografica di chip PDMS e nell’incollaggio di Lab-On-Chip. La camera a vuoto di un impianto RIE è realizzata in alluminio e presenta un elettrodo metallico al centro.
Impianto economico Low Cost
Il sistema al plasma Zepto combina la tecnologia al plasma più all’avanguardia con un alloggiamento compatto e un’interfaccia utente intuitiva. Grazie alla sua struttura compatta, il Zepto può essere integrato rapidamente in un ambiente di laboratorio e di ricerca. Offre un trattamento al plasma ad alte prestazioni in un ingombro ridotto. In quanto soluzione economica, l’impianto al plasma rappresenta un facile punto di ingresso nel trattamento professionale delle superfici al plasma. La combinazione di bassi costi di investimento e di esercizio con una qualità costante del processo consente di lavorare in modo economico anche in applicazioni complesse.
Comandi semplici
Nonostante la tecnologia all’avanguardia, Zepto è dotata di un sistema di controllo Low Cost e intuitivo, che ne facilita l’utilizzo. Nell’unità di controllo con Windows CE, tutti i processi sono preimpostati tramite programmi predefiniti, pertanto non sono necessarie conoscenze preliminari né corsi di formazione approfonditi. Offre una panoramica dello stato attuale e una gestione chiara dei programmi. La semplicità d’uso facilita l’approccio alla tecnologia al plasma e garantisce un lavoro efficiente.
Dati tecnici
Dimensioni dell’alloggiamento
Da banco
Unità di controllo
Semiautomatico
Low Cost PC (Windows CE)
Camera a vuoto
Vetro borosilicato, Porta a battente
⌀ 105 mm x
P 300 mm; Volume circa 3 litri
alluminio, con coperchio
⌀ 150 mm x
H 60 mm; Volume circa 1 litri
Generatore
40,00 kHz | Potenza in uscita 0 - 100 W
13,56 MHz | Potenza in uscita 0 - 200 W
Alimentazione gas
Valvola a spillo
MFC (Mass flow controller)
Elettrodo
All'esterno della camera a vuoto
Elettrodo RIE
Misura della pressione
Sensore Pirani
Alimentazione
230 V | 16 A
Modifiche tecniche con riserva.
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Servizi di trattamento superficialeVarianti del modello
Zepto
Semi-automatico kHz
Dimensioni dell’alloggiamento
Da bancoL 425 mm x H 185 mm x P 450 mm
Unità di controllo
Semiautomatico
Camera a vuoto
Vetro borosilicato
,
Porta a battente
⌀ 105 mm x
P 300 mm
Volume circa
3
litri
Generatore
40,00 kHz | Potenza in uscita 0 - 100 W
Alimentazione gas
2 x Valvola a spillo
Elettrodo
All'esterno della camera a vuoto
Misura della pressione
Sensore Pirani
Alimentazione
230 V | 16 A
Zepto
Semi-automatico MHz
Dimensioni dell’alloggiamento
Da bancoL 425 mm x H 185 mm x P 450 mm
Unità di controllo
Semiautomatico
Camera a vuoto
Vetro borosilicato
,
Porta a battente
⌀ 105 mm x
P 300 mm
Volume circa
3
litri
Generatore
13,56 MHz | Potenza in uscita 0 - 200 W
Alimentazione gas
2 x Valvola a spillo
Elettrodo
All'esterno della camera a vuoto
Misura della pressione
Sensore Pirani
Alimentazione
230 V | 16 A
Zepto
PC kHz
Dimensioni dell’alloggiamento
Da bancoL 425 mm x H 185 mm x P 450 mm
Unità di controllo
Low Cost PC
Camera a vuoto
Vetro borosilicato
,
Porta a battente
⌀ 105 mm x
P 300 mm
Volume circa
3
litri
Generatore
40,00 kHz | Potenza in uscita 0 - 100 W
Alimentazione gas
2 x MFC (Mass flow controller)
Elettrodo
All'esterno della camera a vuoto
Misura della pressione
Sensore Pirani
Alimentazione
230 V | 16 A
Zepto
PC MHz
Dimensioni dell’alloggiamento
Da bancoL 425 mm x H 185 mm x P 450 mm
Unità di controllo
Low Cost PC
Camera a vuoto
Vetro borosilicato
,
Porta a battente
⌀ 105 mm x
P 300 mm
Volume circa
3
litri
Generatore
13,56 MHz | Potenza in uscita 0 - 200 W
Alimentazione gas
2 x MFC (Mass flow controller)
Elettrodo
All'esterno della camera a vuoto
Misura della pressione
Sensore Pirani
Alimentazione
230 V | 16 A
Zepto
RIE semiautomatico MHz
Dimensioni dell’alloggiamento
Da bancoL 425 mm x H 310 mm x P 450 mm
Unità di controllo
Semiautomatico
Camera a vuoto
alluminio
,
con coperchio
⌀ 150 mm x
H 60 mm
Volume circa
1
litri
Generatore
13,56 MHz | Potenza in uscita 0 - 200 W
Alimentazione gas
2 x Valvola a spillo
Elettrodo
Elettrodo RIE
Misura della pressione
Sensore Pirani
Alimentazione
230 V | 16 A
Dimensioni dell’alloggiamento
Unità di controllo
Camera a vuoto
Generatore
Alimentazione gas
Elettrodo
Misura della pressione
Alimentazione
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FAQ Domande frequenti
L'impianto al plasma Zepto è adatto al funzionamento continuo?
L'impianto Low Cost Zepto, destinato alla ricerca e alla tecnologia, non è adatto al funzionamento continuo.
Cosa si può trattare con il Zepto?
Con il Zepto di Diener electronic è possibile trattare tutti i materiali resistenti al vuoto.
È possibile applicare un rivestimento con l'impianto Zepto?
Con l'impianto Zepto della gamma Low Cost, purtroppo non è possibile rivestire la superficie.
È possibile effettuare l'incisione con l'apparecchio Zepto?
Con l'impianto Zepto della gamma Low Cost, purtroppo non è possibile incidere la superficie.
Quali gas possono essere utilizzati nel Zepto?
Nel Zepto e, più in generale, nel plasma a bassa pressione è possibile utilizzare i seguenti gas: O₂, N₂, Ar, aria ambiente, CO₂, vapore d’acqua e gas di formiatura
L'impianto Zepto è in grado di trattare componenti magnetici?
Anche i componenti magnetici possono essere trattati con ottimi risultati nella camera a vuoto del Zepto di Diener electronic.
È possibile trattare componenti sensibili alla temperatura con il Zepto?
Sì, trattandosi di plasma freddo, gli impianti al plasma a bassa pressione Zepto di Diener electronic sono adatti per componenti sensibili alla temperatura.
I componenti sensibili alle scariche elettrostatiche (ESD) possono essere trattati con il Zepto?
Sì, con il plasma a bassa pressione del Zepto ciò è possibile. Su richiesta, è possibile effettuare una prova nel nostro reparto di processo.
Qual è il range di pressione tipico che si riscontra solitamente nel Zepto all’interno della camera a vuoto?
L'intervallo di pressione tipico del Zepto è compreso tra 0,1 e 1,0 mbar (regolabile), a seconda dei processi al plasma a bassa pressione definiti.
Qual è la temperatura tipica di processo del Zepto nella camera a vuoto?
Nel caso del Zepto di Diener electronic, la temperatura varia normalmente da temperatura ambiente a circa 80 °C, a seconda del componente, del tipo di camera, della durata del processo e della quantità di carico. Su richiesta, è possibile raggiungere temperature più elevate presso Diener electronic tramite elementi riscaldanti.
Quali opzioni di integrazione con il software sono disponibili per il Zepto?
Con il sistema di controllo Low Cost di Zepto, non è possibile effettuare il collegamento.
I filtri dell'aria di scarico sono necessari per il Zepto?
Sì, tutti gli impianti devono essere obbligatoriamente collegati a un sistema di scarico dell’aria, indipendentemente dal tipo di gas utilizzato. Si generano ossidi di azoto, gas di scarico, nebbia d’olio sottile (nel caso delle pompe a olio), ecc., che non devono essere inalati; inoltre, i gas sono spesso acidi e favoriscono quindi la formazione di ruggine sulle parti, sui macchinari e sugli impianti circostanti.
Quali superfici è possibile attivare con l'impianto al plasma Zepto?
Con l'impianto al plasma Zepto di Diener electronic è possibile attivare le seguenti superfici: materie plastiche, metalli, vetro, ceramica e tessuti.
Qual è la frequenza dell'impianto GHz Zepto?
I generatori dell'impianto GHz Zepto funzionano alla frequenza ISM di 2,45 MHz, con un'intensità paragonabile a quella di un forno a microonde. Si prega di informarsi sulle norme di sicurezza per le persone con pacemaker.
