Réacteur tubulaire

Également appelé « réacteur à tube ou à tunnel ». Il s'agit d'un système plasma cylindrique, dans lequel le gaz de traitement passe dans le sens axial. Lors d'une excitation HF par rayonnement MHz, une électrode se présente sous la forme d'un cylindre et l'autre sous forme de plaque au centre du cylindre. En général, cette deuxième électrode sert également de support de pièce. Cette version de réacteur est utilisée de préférence pour des processus de gravure au plasma, dans lesquels il s'agit d'éviter un bombardement ionique direct du substrat. Lors de la gravure au plasma en réacteur tubulaire, de hauts taux de gravure sont obtenus par excitation MHz.