Reattore a tamburo

Denominato anche "reattore a tubo o a tunnel". Impianto cilindrico al plasma attraverso il quale il gas di processo scorre in direzione assiale. Nell'eccitazione ad alta frequenza mediante radiazione MHz, un elettrodo è configurato come un cilindro e il secondo come una piastra al centro del cilindro. Il secondo elettrodo serve generalmente anche come supporto del pezzo di lavorazione. Questo tipo di reattore viene utilizzato preferibilmente per processi di acidatura al plasma in cui si intende evitare il bombardamento diretto di ioni del substrato. Il processo di acidatura al plasma in un reattore a tamburo consente di ottenere elevate velocità di acidatura con eccitazione MHz.

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