Бочкообразный реактор

плазменная установка, через которую в осевом направлении пропускается технологический газ . При ВЧ-возбуждении посредством МГц-излучения один электрод выполнен в виде цилиндра, а второй в виде пластины находится в центре цилиндра. Этот второй электрод служит также носителем материала. Такое исполнение реактора применяется в основном для процессов травления, в которых следует избегать прямой бомбардировки субстрата ионами. При плазменном травлении в бочкообразном реакторе с ВЧ-возбуждением достигаются высокие скорости обработки.