Reactor de barril

También se denomina reactor de tubo o de túnel. Sistema de plasma cilíndrico por el que se hace circular el gas del proceso en dirección axial. En la excitación de alta frecuencia por radiación en el rango de MHz, un electrodo está diseñado en forma de cilindro, y otro, ubicado en el centro del cilindro, en forma de placa. Este segundo electrodo sirve, en general, de soporte de mercancías. Este diseño del reactor se utiliza preferentemente en procesos de grabado con plasma en los que deba evitarse el bombardeo directo de iones al sustrato. El grabado con plasma en el reactor de barril permite lograr tasas de grabado elevadas en caso de excitación en el rango de MHz.

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