Offenes Plasma

Ein technisches Plasma, das bei bei normalem Umgebungsdruck an freier Atmosphäre angeregt wird. Das Prozessgas ist meist gereinigte trockene Druckluft, auch reiner Sauerstoff oder Stickstoff sind möglich. Die Anregung erfolgt über Gasentladung bei Hochspannung. Das Plasma ist auf Grund der geringen freien Weglänge bei Atmosphärendruck der Teilchen räumlich eng begrenzt.
(siehe auch ⇒ Atmosphärendruckplasma)

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