Глоссарий технологии обработки поверхностей
Эффект Оже
электрон переходит в менее энергонасыщенное, незанятое состояние. Высвобождаемая энергия переносится на другой слабо связанный электрон этого же атома , который при этом вылетает из атома (эффект Оже). На эффекте Оже основывается электронная Оже-спектрометрия (AES) – метод анализа расположенных близко к поверхности атомов и их состояния связи, в первую очередь таких «легких» элементов, как углерод, азот и бор.