Gas nobile

I gas nobili sono gli elementi chimici elio, neon, argon, krypton, xeno e radon, caratterizzati dal fatto che il guscio elettronico più esterno dei loro atomi è riempito interamente di elettroni . I gas nobili non formano legami con altri atomi perché non possono rilasciare elettroni di valenza e non possono assorbire gli elettroni di valenza di altri atomi. I gas nobili esistono quindi sempre in forma atomica e non formano molecole. Quando i gas nobili vengono utilizzati come gas di processo nella tecnologia del plasma , non si possono formare radicali, ma solo ioni . Poiché gli atomi eccitati non reagiscono con gli atomi e le molecole del substrato, non ha luogo alcuna acidatura al plasma . La particolare importanza dei gas nobili nella tecnologia del plasma è dovuta al fatto che possono sempre essere utilizzati quando si desidera acidatura ionica puramente fisica. Ciò vale in particolare se si vuole ottenere un effetto di acidatura completamente anisotropo . Del gruppo dei gas nobili, nella tecnologia del plasma si usa praticamente solo l'argon. A causa della bassa massa, gli ioni di elio hanno un effetto di acidatura minimo. Grazie al suo plasma dal colore giallo-arancio luminoso, il neon è importante per l'uso nei tubi al neon. I gas nobili pesanti xenon, krypton e radon sono estremamente rari e di conseguenza costosi. L'argon, invece, è disponibile in grandi quantità a basso costo (costituisce lo 0,93% dell'atmosfera terrestre) e possiede una massa sufficiente per una buona acidatura.