Plasmaüberwachung

Zur präzisen Steuerung eines Plasmaprozesses muss der Zustand des Plasmas während des laufendes Prozesses überwacht werden. Zwei grundsätzliche Methoden stehen zur Verfügung:

  1. Spektroskopische Überwachung:
    Ein Niederdruckplasma leuchtet mit einer für das Prozessgas typischen Farbe, d.h. Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung. Mit zunehmendem Anteil von Restgasen verändert sich die Farbe. Das bedeutet, dass bei einer spektroskopischen Messung zusätzliche Wellenlängen (Spektrallinien) festgestellt werden. Die Intensität der Strahlung verändert sich mit dem Druck des Niederdruck-Plasmas.
    Es kann normal sein, dass sich das Spektrum eines Plasmas im Prozessverlauf ändert, weil sich Reaktionsprodukte im Plasma anreichern. Es muss aber kontrolliert werden, ob die Veränderungen in festgelegten Toleranzen verbleiben.
  2. Messung und Kontrolle von Druck, Gasfluss, Spannung, Zeit und anderen Prozessparametern.

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