Vigilancia del plasma

Para el control preciso de un proceso con plasma, debe vigilarse el estado del plasma en toda su duración. Se ofrecen dos métodos básicos:

  1. Vigilancia espectroscópica:
    Un plasma de baja presión se enciende en un color típico para el gas del proceso del que se trate, es decir, de acuerdo con la longitud de onda de la radiación electromagnética. El color cambia a medida que aumenta la proporción de gases residuales. Esto significa que, en una medición espectroscópica, se determinan longitudes de onda adicionales (líneas espectrales). La intensidad de la radiación varía en función de la presión del plasma de baja presión.
    Puede ser normal que el espectro de un plasma se modifique durante el transcurso del proceso porque se hayan formado productos de reacción en el plasma. No obstante, debe controlarse que las modificaciones se mantengan dentro de las tolerancias establecidas.
  2. Medición y control de parámetros del proceso, como presión, caudal de gas, tensión y duración, entre otros.

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