Surveillance plasma
Pour la commande précise d'un processus plasma, l'état du plasma doit être surveillé pendant le processus en cours. Deux méthodes de base sont disponibles :
- Surveillance spectroscopique :
Un plasma basse pression s'allume dans une couleur typique du gaz de traitement, c'est-à-dire la longueur d'onde du rayonnement électromagnétique. La couleur change avec la proportion croissante de gaz résiduels. Cela signifie que des longueurs d'onde supplémentaires (lignes spectrales) sont détectées pendant la mesure spectroscopique. L'intensité du rayonnement varie en fonction de la pression du plasma basse pression.
Il peut être normal que le spectre d'un plasma change au cours du processus parce que les produits de réaction s'enrichissent dans le plasma. Toutefois, il faut vérifier si les modifications restent dans les limites des tolérances définies. - Mesure et contrôle de la pression, du débit de gaz, de la tension, du temps et d'autres paramètres du processus.
