Silicio
Il silicio è uno degli elementi più importanti, tuttavia non per il successo ottenuto nel campo della microelettronica. Il silicio rappresenta il 15% della massa totale della terra, ma in natura è presente solo sotto forma di legame, soprattutto come composto minerale e come diossido di silicio SiO2 . Questo minerale è il componente principale di granito, sabbia e arenaria. Il minerale SiO2 puro è denominato quarzo. Può essere lavorato anche allo stato puro come vetro di quarzo . Si tratta in generale del componente principale di tutti gli occhiali. Il silicio ha il numero atomico 14 e appartiene al gruppo del carbonio nella tavola periodica. Con i suoi 4 elettroni di valenza presenta svariate possibilità di formazione di composti e reticoli cristallini, analogamente al carbonio. Nella sua forma elementare, il silicio è un semimetallo ovvero il semiconduttore più importante per le applicazioni commerciali. La possibilità di formare cristalli singoli di grandi dimensioni senza interferenze è particolarmente rilevante. Molti metodi di lavorazione del silicio sono realizzati con la tecnica del plasma e uno dei metodi di particolare importanza è la strutturazione per acidatura . I gas di acidatura utilizzati sono spesso composti di fluoro quali l’esafluoruro di zolfo SF6 o il tetrafluorometano CF4 . Con il metodo fotolitografico vengono inoltre applicate piste conduttive o rivestimenti protettivi mediante polimerizzazione al plasma .
