Кремний

диоксид кремния SiO₂. Этот минерал является основным компонентом гранита, песка и песчаника. Чистый минерал SiO₂ называют кварцем. Он может перерабатываться в чистой форме в кварцевое стекло. В целом, это основной компонент всех видов стекла. Кремний имеет порядковый номер 14 и в периодической системе принадлежит к углеродной группе. Обладая 4 валентными электронами, он может формировать настолько же разнообразные соединения и кристаллические решетки, как и углерод. В элементарной форме кремний является полуметаллом или полупроводником, причем основным в коммерческом применении. Очень важное значение здесь имеет возможность формировать бездефектные монокристаллы. Многие методы обработки кремния реализуются с использованием плазменной техники, причем особую роль играет структурирование посредством травления. В качестве газов используются такие фтористые соединения, как гексафторид серы SF₆ или тетрафторметан CF₄. Кроме этого, с помощью фотолитографических методов наносятся проводящие полоски и защитные покрытия в процессе плазменной полимеризации.