Silicium
Le silicium est l'un des éléments les plus importants, mais pas à cause ou depuis le triomphe de la microélectronique. Le silicium représente 15 % de la masse totale de la terre, mais dans la nature, il n'existe que sous forme de composé, en particulier sous forme de composé minéral et, en premier lieu, en tant que dioxyde de silicium SiO2. Ce minéral est le principal composant du granit, du sable et du grès. Le minéral SiO2 pur est appelé quartz. Il peut également être traité sous forme pure en tant que verre de quartz. En général, c'est le composant principal de toutes les verres. Le silicium a le numéro atomique 14 et appartient au groupe carbone du tableau périodique. Avec ses 4 électrons de valence, il a une variété similaire de possibilités pour former des composés et des réseaux cristallins comme le carbone. Sous forme élémentaire, le silicium est un semi-métal ou semi-conducteur et le plus important pour les applications commerciales. La possibilité de former de très grands monocristaux sans interférence s'avère particulièrement importante. De nombreuses méthodes de traitement du silicium sont réalisées par la technologie plasma, la structuration par gravure revêtant une importance particulière. Des composés fluorés tels que l'hexafluorure de soufre SF6 ou le tétrafluorométhane CF4 sont souvent utilisés comme gaz de gravure. En outre, les méthodes photolithographiques sont également utilisés pour appliquer des pistes conductrices ou des revêtements protecteurs par polymérisation plasma.
