Lessico della tecnologia delle superfici
Diossido di silicio
SiO2, legame più frequente sulla crosta terrestre, duro e termoresistente, ottimo isolante. Usato molto spesso nella microelettronica come strato isolante, per lo più prodotto per ossidazione del silicio puro. Può essere inciso per acidatura mediante gas a contenuto alogeno (e in particolare di fluoro) nel plasma, esponendo nuovamente il silicio sottostante.
