Глоссарий технологии обработки поверхностей
Мишень
ионно-плазменном распылении. В процессе физического травления из мишени выбиваются атомы и молекулы, которые переводятся в газовую фазу. Эти частицы при использовании PVD-метода конденсируются на субстрате, образуя на нем покрытие.
