Cible

Également désignée par son nom anglais « target ». Il s'agit de la cible du bombardement ionique lors de la pulvérisation. Des atomes et molécules sont éliminés de la cible par gravure physique et transférés en phase gazeuse. Dans la méthode PVD , ces particules se condensent sur le substrat et forment un revêtement.