Femto

SISTEMAS DE PLASMA DE BAJA PRESIÓN (LIMPIADOR DE PLASMA)

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Los sistemas de plasma Femto pueden combinarse en diferentes variantes, como en un sistema modular. A continuación, se ofrece una visión general de las opciones más habituales relacionadas con los sistemas de plasma Femto. Los sistemas de plasma Femto se utilizan principalmente en los siguientes ámbitos:

Análisis, arqueología, automoción, departamentos de investigación y desarrollo, tecnología de semiconductores, fabricación en series reducidas, tratamiento de plásticos, ingeniería médica, tecnología de microsistemas, sensores, esterilización, ingeniería textil

Modelo 1A: equipo básico tipo A con control semiautomático

Cámara de vacío/recipiente tipo A        
(circular, acero inoxidable, tapa, D: 100 mm, P: 278 mm)
Alimentación de gas
Válvula de aguja

Modelo 1B1: equipo básico tipo B con control semiautomático

Cámara de vacío/recipiente tipo A 
(circular, acero inoxidable, tapa, D: 100 mm, P: 278 mm)
Alimentación de gas
Válvula de aguja

Modelo 1B2: equipo básico tipo B con control semiautomático

Cámara de vacío/recipiente tipo G        
(rectangular, aluminio, puerta con bisagra,
An: 110 mm, Al: 120 mm, P: 300 mm)
Alimentación de gas
Válvula de aguja

Modelo 1C: equipo básico tipo C con control semiautomático

Cámara de vacío/recipiente tipo G        
(rectangular, aluminio, puerta con bisagra,
An: 110 mm, Al: 120 mm, P: 300 mm)
Alimentación de gas
Válvula de aguja

Modelo 3B: equipo básico tipo B con control por Basic PC (Windows CE)

Cámara de vacío/recipiente tipo G
(rectangular, aluminio, puerta con bisagra,
An: 110 mm, Al: 120 mm, P: 300 mm)
Alimentación de gas
MFC

Modelo 4: equipo básico tipo B con control por Full PC (Windows 10 IoT)

Cámara de vacío/recipiente tipo G        
(rectangular, aluminio, puerta con bisagra,
An: 110 mm, Al: 120 mm, P: 300 mm)
Alimentación de gas
MFC

Modelo 4B1: equipo básico tipo B con control por Full PC (Windows 10 IoT)

Cámara de vacío/recipiente tipo A        
(circular, acero inoxidable, tapa, D: 100 mm, P: 278
Alimentación de gas
MFC

Datos técnicos

Configuración básica

  • Las carcasas varían en función de los componentes/opciones.
  • Volumen de la cámara: dependiendo de la versión, 1,9-6 litros
  • Alimentación eléctrica: 230 V para equipos de mesa, 400 V/3 fases para equipos de suelo

Cámaras de vacío

  • Acero inoxidable circular con tapa (aprox. ∅ 100 mm, L 278 mm o L 600 mm)
  • Acero inoxidable rectangular, puerta con bisagra (aprox. An 103 × P 285 × Al 103)
  • Aluminio rectangular, puerta con bisagra (aprox. ∅ 103 mm × 103 mm, L 280 mm o L 600 mm)
  • Vidrio de cuarzo (UHP) circular con tapa o puerta con bisagra (aprox. ∅ 95 mm, L 280 mm o L 600 mm)
  • Vidrio de borosilicato (UHP) circular con tapa o puerta con bisagra (aprox. ∅ 95 mm, L 280 mm o L 600 mm)

Carga

  • Soporte de mercancías (opción: refrigerado por agua)
  • Botes de vidrio de cuarzo
  • Tambores giratorios para productos en polvo 
  • Tambores giratorios para productos a granel 
  • Chapa de aluminio
  • Chapa de acero inoxidable
  • Vidrio de borosilicato
  • Vidrio de cuarzo

Electrodos

  • Uno o varios pisos
  • RIE

Controles

  • Semiautomático
  • Interruptor giratorio
  • Control por PCCE (Microsoft Windows CE)
  • Control por PC (Microsoft Windows POSReady 2009)

Medición de presión

  • Pirani
  • Manómetro de capacitancia (para versión de gas corrosivo)

Temporizador

  • Digital

Generadores de tensión

Frecuencias:    

  • 40 kHz: potencia de 0-100 W; 0-1000 W
  • 100 kHz: potencia de 500 W
  • 80 kHz: potencia de 1000 W
  • 13,56 MHz: potencia de 0-200 W
  • 2,45 GHz: potencia de 0-100 W; 0-300 W

Todos los generadores de tensión pueden regularse de manera continua del 0 al 100 %.

Bombas de vacío

  • En diferentes tamaños y de distintos fabricantes (si se desea, con filtro de carbón activo)

Opciones adicionales

Juegos de repuestos, manómetro, versión de gas corrosivo, bombonas de gas, reductor de presión, placa calefactora, indicación de temperatura, cámara térmica, jaula de Faraday, accesorios para polimerización por plasma, tintas de prueba, generador de oxígeno, ventilación lenta, bombeo lento, brida para portamuestras de microscopio electrónico de transmisión, mantenimiento/servicio técnico, documentación en el idioma del país, instalación in situ (incluidos cursos de formación). Opciones adicionales a petición.

+49 7458 99931-0

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