Plasma a Baja PresiónSistema de plasma Femto
Instalación de plasma flexible gracias a un sistema modular
Con su volumen de cámara compacto de 2 - 4 litros y la posibilidad de configurarla a medida en una carcasa de sobremesa o de pie, esta instalación resulta ideal para la investigación, el desarrollo y aplicaciones de laboratorio exigentes.
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Sistema de plasma modular para requisitos de proceso específicos
El sistema de plasma Femto permite combinar y diseñar sus componentes como en un sistema modular. El sistema modular abarca desde el volumen de cámara más pequeño, el del Femto, hasta el Tetra 1440 y más allá, sin límites en el ámbito de la construcción de instalaciones a medida. Gracias a su diseño modular, el sistema se puede configurar de forma personalizada como equipo de sobremesa o de pie, y adaptarse de manera óptima a sus requisitos de proceso.
Las diferentes opciones de control permiten un manejo cómodo y procesos reproducibles, desde aplicaciones estandarizadas hasta complejos procesos de plasma documentados.
El Femto es adecuado para la limpieza de alta precisión, la activación de superficies, el grabado por plasma y el recubrimiento por plasma de una amplia variedad de materiales. Gracias a su gran adaptabilidad, el sistema se utiliza tanto en laboratorios como en departamentos de desarrollo y en aplicaciones cercanas a la producción.
Como punto de partida del concepto de sistema modular, el Femto constituye la base para futuras ampliaciones, hasta llegar a instalaciones especiales de gran volumen. De este modo, las empresas invierten en una solución con garantía de futuro que puede adaptarse de forma flexible a las crecientes exigencias.
Limpieza
El sistema Plasma a Baja Presión Femto ofrece soluciones para la limpieza de alta precisión de todo tipo de superficies, para cualquier sustrato y para cualquier tratamiento posterior. La limpieza por plasma elimina todos los residuos orgánicos sin someter al componente a estrés químico ni térmico.
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Activación
Para que se produzca la adhesión entre los materiales al pintar, pegar, imprimir o unir, es imprescindible que la superficie presente una buena humectabilidad. La activación por plasma de la instalación Plasma a Baja Presión Femto crea superficies polares y aumenta la energía superficial.
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Recubrimiento
La instalación Plasma a Baja Presión Femto también puede modificar superficies mediante un recubrimiento. En un recubrimiento por plasma se pueden depositar capas hidrófobas, hidrofílicas, protectoras o aislantes de cualquier tipo.
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Grabado
La tecnología de plasma de la instalación Plasma a Baja Presión Femto permite el grabado anisotrópico e isotrópico. De este modo se consiguen nanoestructuras en las superficies que aumentan su superficie y mejoran la adherencia.
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2 - 4 l de cámara
El sistema de plasma Femto cuenta con un volumen de cámara de 2 - 4, lo que lo hace ideal para componentes sencillos en los ámbitos de la industria y la investigación. Para trabajos de investigación y de laboratorio, se dispone de una cámara de vidrio borosilicato o de cuarzo. Estas destacan por su resistencia química, lo que garantiza una elevada pureza del proceso. Para determinadas aplicaciones, también se puede elegir un frasco giratorio, que garantiza un tratamiento uniforme. De este modo, el sistema de plasma Femto resulta ideal para aplicaciones en tecnología médica o trabajos de laboratorio. Para la industria, se dispone de cámaras de acero inoxidable o aluminio, que garantizan procesos industriales especialmente seguros y estables.
Instalación RIE
Si es necesario, el modelo Femto ofrece la opción de un equipo RIE especializado en el proceso de grabado iónico reactivo. El diseño de este equipo de plasma no solo combina los dos métodos de grabado —isotrópico y anisotrópico—, sino que los integra en una tecnología de vanguardia. Una cámara con puerta de plexiglás permite ver el interior de una cámara automatizada que puede bajar y subir hasta el componente para realizar el tratamiento con plasma. La puerta de cristal, equipada con sensores, impide que se abra prematuramente y, por lo tanto, evita una intervención accidental en el proceso. De este modo, el sistema de plasma Femto garantiza la máxima seguridad y control del proceso.
Sistema modular
Gracias a años de experiencia y a conceptos de probada eficacia, Diener electronic ha creado un sistema modular único que permite diseñar las instalaciones de forma flexible. Para facilitar su integración en un entorno de producción ya existente, la instalación de plasma Femto puede montarse en una carcasa de sobremesa compacta o en una carcasa de pie resistente. En función del tamaño de la cámara, se elige la carcasa y el elemento de control adecuados. El resultado es una instalación de producción a medida para la industria con aplicaciones exigentes.
Control
Para el diseño compacto del equipo de sobremesa, se puede elegir entre los sistemas de control LowCost, Basic PC y el sencillo sistema semiautomático. En el caso del control semiautomático, los parámetros del proceso se pueden ajustar manualmente, por lo que su manejo no requiere conocimientos previos. Para el sector industrial, resulta muy adecuado un robusto armario de suelo con un control más sencillo, como el Low Cost o el Basic PC, con procesos preconfigurados. Para entornos de producción exigentes, se puede optar por un sistema de control «Full PC». Este permite el archivo de los procesos, la gestión de listas de alarmas y la conexión en red. La transparencia de los procesos y su trazabilidad constituyen la base para una producción eficiente y rentable.
Datos técnicos
Dimensiones de la carcasa
De sobremesa
De suelo
Unidad de control
Semiautomático
Low Cost PC (Windows CE)
Basic PC (Windows CE)
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
Cámara de vacío
Acero inoxidable, Puerta abatible
⌀ 100 mm x
F 277 mm; Volumen aprox. 2 litros
Acero inoxidable, Puerta abatible
AN 103 mm x AL 103 mm x F 285 mm; Volumen aprox. 3 litros
aluminio, Puerta abatible
AN 110 mm x AL 120 mm x F 300 mm; Volumen aprox. 4 litros
Opcional: Profundidad variable y expandible hasta un máximo de 3000 mm
Vidrio de cuarzo, Puerta abatible
⌀ 95 mm x
F 280 mm; Volumen aprox. 2 litros
Vidrio borosilicato, Puerta abatible
⌀ 95 mm x
F 279 mm; Volumen aprox. 2 litros
generador
40 kHz | Potencia de salida 0 - 100 W
100 kHz | Potencia de salida 0 - 500 W
13,56 MHz | Potencia de salida 0 - 100 W
13,56 MHz | Potencia de salida 0 - 200 W
2,45 GHz | Potencia de salida 0 - 300 W
Suministro de gas
Válvula de aguja
MFC (Mass flow controller)
Electrodo
Según los deseos del cliente
Medición de presión
Sensor de Pirani
Manómetro capacitivo
Fuente de alimentación
230 V | 16 A
400 V | 16 - 125 A
Reservado el derecho a realizar modificaciones técnicas.
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FAQ Preguntas frecuentes
¿Qué temas se pueden tratar con el Femto?
Con el Femto de Diener electronic se pueden tratar todos los materiales resistentes al vacío.
¿Qué gases se pueden utilizar en el Femto?
En el Femto, así como en general en el plasma de baja presión, se pueden utilizar los siguientes gases: O₂, N₂, Ar, aire ambiente, CO₂, vapor de H₂O y gas formador.
¿Se pueden tratar con el Femto los componentes sensibles a la temperatura?
Sí, dado que se trata de un plasma frío, los sistemas de plasma de baja presión Femto de Diener electronic son adecuados para componentes sensibles a la temperatura.
¿Puede la instalación Femto procesar componentes magnéticos?
Los componentes magnéticos también se pueden procesar sin problemas en la cámara de vacío del Femto de Diener electronic.
¿Se pueden manipular los componentes sensibles a las descargas electrostáticas con el Femto?
Sí, con el plasma de baja presión del Femto esto es posible. Si lo solicita, podemos realizar una prueba en nuestro departamento de procesos.
¿Cuál es el rango de presión habitual en la cámara de vacío del Femto?
El rango de presión típico del Femto se sitúa entre 0,1 y 1,0 mbar, ajustable en función de los procesos de plasma a baja presión definidos.
¿Cuál es la temperatura típica del proceso en el Femto dentro de la cámara de vacío?
En el Femto de Diener electronic, la temperatura suele oscilar entre la temperatura ambiente y unos 80 °C, en función del componente, el tipo de cámara, la duración del proceso y la cantidad de carga. Previa solicitud a Diener electronic, es posible alcanzar temperaturas más altas mediante elementos calefactores.
¿Existe alguna alternativa al hidrógeno en el sistema Femto?
Previa solicitud a Diener electronic, en el sistema Femto se puede considerar la posibilidad de utilizar un generador de hidrógeno o vapor de agua como alternativa al hidrógeno.
¿Qué opciones de conexión existen en lo que respecta al control por software en el sistema Femto?
Con el control completo por PC, el sistema de plasma Femto de Diener electronic ofrece las siguientes opciones de conexión, tales como:
- sistemas de control superiores, p. ej., mediante Profinet
- sistema MES, p. ej., a través de OPC UA
- conexión a bases de datos a través de ODBC
¿Es posible adaptar el software de control del sistema de plasma Femto a nuestras necesidades?
Si lo desea, en Diener electronic adaptamos el sistema de control PC de la serie de modelos Femto. No dude en ponerse en contacto con nosotros al respecto.
¿Qué opciones de integración con el software ofrece el Femto?
Con el sistema de control Low Cost de Femto, no es posible realizar la conexión.
¿Se puede ver a través de la mirilla?
Sí, dependiendo del material, es posible ver el interior de la cámara de vacío.
¿Son necesarios los filtros de aire de salida?
Sí, es imprescindible que todas las instalaciones estén conectadas a un buen sistema de extracción de aire, ¡independientemente del tipo de gas que se utilice! Se generan óxidos de nitrógeno, gases de escape, finas neblinas de aceite (en el caso de las bombas de aceite), etc., que no deben inhalarse; además, los gases suelen ser ácidos, por lo que favorecen la oxidación de las piezas, máquinas e instalaciones circundantes.
¿A qué frecuencia funciona el equipo de GHz Femto?
Los generadores del sistema de GHz Femto funcionan con la frecuencia ISM de 2,45 MHz, con una intensidad comparable a la de un microondas. Consulte las normas de seguridad para personas con marcapasos.
¿Se puede abrir la puerta de la cámara durante el funcionamiento?
En circunstancias normales, no; la presión negativa del vacío hace que la puerta se adhiera a la carcasa de la cámara.
¿Se pueden tocar las piezas tras el tratamiento?
Sí, es seguro; recomendamos manipularlo con cuidado y utilizar guantes para evitar la contaminación. Y es que el plasma elimina las impurezas orgánicas, pero no las inorgánicas. Por ejemplo, el sudor de las huellas dactilares contiene sales (impurezas inorgánicas).
¿Es posible eliminar las virutas metálicas o el polvo de los componentes?
Lamentablemente, no es posible limpiar las superficies para eliminar las virutas de metal o el polvo.
¿Qué tipos de impurezas se pueden eliminar?
Todas las impurezas orgánicas y en forma de película de un tamaño de hasta aproximadamente 1 micrómetro pueden eliminarse con los equipos de plasma de Diener electronic.
¿Durante cuánto tiempo se pueden almacenar las piezas activadas antes de su posterior procesamiento?
El tiempo de almacenamiento de los componentes depende del tiempo de activación y del material, y varía entre unos pocos minutos y varios meses. Por ello, a menudo es necesario realizar ensayos in situ.
Metales, cerámica, vidrio y elastómeros: unas pocas horas
; plásticos (excepto los elastómeros): varios días, semanas o meses
¿Qué superficies se pueden activar con el equipo de plasma Femto?
Con el equipo de plasma Femto de Diener electronic se pueden activar las siguientes superficies: plásticos, metales, vidrios, cerámicas y textiles.
