плазма низкого давленияПлазменная система Femto
Гибкая плазменная установка благодаря модульной конструкции
Благодаря компактному объему камеры — около 2 - 4 литров — и возможности индивидуальной конфигурации в настольном или напольном корпусе, данная установка идеально подходит для научных исследований, разработок, а также для сложных лабораторных задач.
Сделать запрос
Модульная плазменная система для индивидуальных технологических требований
Плазменная система Femto может комбинироваться и конструироваться из отдельных компонентов по принципу модульной системы. Модульная система начинается с самой малой камеры Femto и доходит до модели Tetra 1440, а в сфере производства специального оборудования возможности практически безграничны. Благодаря модульной концепции систему можно индивидуально сконфигурировать в виде настольного или напольного устройства и оптимально адаптировать к вашим технологическим требованиям.
Различные варианты управления обеспечивают удобство эксплуатации и воспроизводимость процессов — от стандартных применений до сложных, задокументированных плазменных циклов.
Femto подходит для сверхточнойочистки, активации поверхностей, плазменного травления и плазменного нанесения покрытий на самые разнообразные материалы. Благодаря высокой адаптивности система используется как в лабораториях, так и в отделах разработки, а также в производственных условиях.
Являясь отправной точкой в модульной концепции оборудования, Femto служит основой для будущих расширений вплоть до крупногабаритных специальных установок. Таким образом, предприятия инвестируют в перспективное решение, которое можно гибко адаптировать к растущим требованиям.
Очистка
Установка плазма низкого давления Femto предлагает решения для сверхточной очистки любых поверхностей, любых материалов и любой последующей обработки. Плазменная очистка удаляет все органические остатки, не подвергая деталь химическому или термическому воздействию.
Дополнительная информация
Активация
Условием для образования связей при нанесении лака, склеивании, печати или склеивании является хорошая смачиваемость поверхности. Плазменная активация, осуществляемая установкой плазма низкого давления Femto, создает полярные участки связи и повышает поверхностную энергию.
Дополнительная информация
Покрытие
Установка плазма низкого давления Femto также может изменять свойства поверхностей с помощью нанесения покрытий. В процессе плазменного нанесения покрытий можно наносить гидрофобные, гидрофильные, защитные или изолирующие слои любого типа.
Дополнительная информация
Травление
Плазменная технология установки плазма низкого давления Femto позволяет осуществлять анизотропное и изотропное травление. В результате на поверхности образуются наноструктуры, способствующие увеличению их площади и улучшению адгезии.
Дополнительная информация
2 - 4 л камера
Плазменная установка Femto оснащена камерой объемом 2 - 4, которая оптимально подходит для простых деталей, используемых в промышленности и научных исследованиях. Для научно-исследовательских и лабораторных работ доступна камера из боросиликатного или кварцевого стекла. Эти материалы отличаются высокой химической стойкостью, что гарантирует высокую чистоту технологического процесса. Для определенных задач также предлагается вращающаяся колба, обеспечивающая равномерную обработку. Таким образом, плазменная установка Femto оптимально подходит для применения в медицинской технике или лабораторных работах. Для промышленности доступны камеры из нержавеющей стали или алюминия, которые гарантируют особо безопасные и стабильные промышленные процессы.
Установка RIE
При необходимости для Femto предусмотрена опция установки RIE, специализированной на методе реактивного ионного травления. Конструкция этой плазменной установки не только объединяет два метода травления — изотропное и анизотропное, — но и реализует их с использованием самых современных технологий. Камера с дверцей из плексигласа позволяет наблюдать за работой автоматизированной камеры, которая опускается и поднимается для проведения плазменной обработки детали. Стеклянная дверца, оснащённая датчиками, предотвращает преждевременное открытие и, следовательно, случайное вмешательство в процесс. Таким образом, плазменная система Femto обеспечивает максимальную безопасность и контроль технологического процесса.
Модульная система сборки
Опираясь на многолетний опыт и проверенные концепции, компания Diener electronic разработала уникальную модульную систему, позволяющую гибко конструировать установки. Для обеспечения простой интеграции в существующую производственную среду плазменная установка Femto может быть выполнена в компактном настольном корпусе или в прочном напольном корпусе. В зависимости от размера камеры подбирается подходящий корпус и элемент управления. Результатом является производственная установка, изготовленная по индивидуальному заказу для промышленности с высокими эксплуатационными требованиями.
Управление
Для компактной конструкции настольного устройства на выбор предлагаются системы управления LowCost, Basic PC и удобная в использовании полуавтоматическая система управления. В случае полуавтоматического управления параметры процесса настраиваются вручную, поэтому для работы с устройством не требуется специальных знаний. Для промышленного применения хорошо подходит прочный напольный корпус с упрощенной системой управления Low Cost или Basic PC с предустановленными процессами. Для сложных производственных условий доступна система управления Full PC. Она обеспечивает архивирование процессов, ведение списков аварийных сигналов и подключение к сети. Прозрачность процессов и их отслеживаемость создают основу для эффективного и экономичного производства.
Технические данные
Габариты корпуса
Настольный
Напольный
Блок управления
Полуавтоматический
Low Cost PC (Windows CE)
Basic PC (Windows CE)
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
Вакуумная камера
Нержавеющая сталь, Распашная дверца
⌀ 100 мм x
Г 277 мм; объем примерно 2 литров
Нержавеющая сталь, Распашная дверца
Ш 103 мм x В 103 мм x Г 285 мм; объем примерно 3 литров
алюминий, Распашная дверца
Ш 110 мм x В 120 мм x Г 300 мм; объем примерно 4 литров
Опционально: Глубина может быть увеличена до 3000 мм
Кварцевое стекло, Распашная дверца
⌀ 95 мм x
Г 280 мм; объем примерно 2 литров
Боросиликатное стекло, Распашная дверца
⌀ 95 мм x
Г 279 мм; объем примерно 2 литров
генератор
40 кГц | Выходная мощность 0 - 100 W
100 кГц | Выходная мощность 0 - 500 W
13,56 МГц | Выходная мощность 0 - 100 W
13,56 МГц | Выходная мощность 0 - 200 W
2,45 ГГц | Выходная мощность 0 - 300 W
Подача газа
Игольчатый клапан
MFC (Mass flow controller)
Электрод
По желанию клиента
Измерение давления
Датчик Пирани
Манометр производительности
Источник питания
230 V | 16 A
400 V | 16 - 125 A
Возможны технические изменения.
Получить индивидуальное предложение для плазма низкого давления Femto?
Сделать запросДругие интересные продукты
FAQ Часто задаваемые вопросы
Что всего можно рассматривать с помощью Femto?
С помощью Femto компании Diener electronic можно обрабатывать все материалы, устойчивые к воздействию вакуума.
Какие газы можно использовать в Femto?
В данной Femto, а также в целом в низконапорной плазме могут использоваться следующие газы: O2, N2, Ar, атмосферный воздух, CO2, пары H2O и формирующий газ
Можно ли обрабатывать с помощью Femto компоненты, чувствительные к температуре?
Да, поскольку речь идет о холодной плазме, установки низкодавления Femto компании Diener electronic подходят для температурно-чувствительных компонентов.
Может ли установка Femto обрабатывать магнитные детали?
Магнитные компоненты также можно успешно обрабатывать в вакуумной камере Femto компании Diener electronic.
Можно ли обрабатывать компоненты, чувствительные к электростатическому разряду (ESD), с помощью Femto?
Да, с помощью низкодавления плазмы Femto это возможно. По запросу можно провести испытание в нашем технологическом отделе.
Какой диапазон давления обычно наблюдается в вакуумной камере Femto?
Типичный диапазон давления Femto составляет 0,1–1,0 мбар (регулируемый), в зависимости от заданного процесса низкодавления в плазме.
Какова типичная температура процесса в вакуумной камере Femto?
В Femto компании Diener electronic температура обычно колеблется от комнатной до примерно 80 °C — в зависимости от компонента, типа камеры, продолжительности процесса и объема загрузки. По запросу компании Diener electronic можно обеспечить более высокие температуры с помощью нагревательных элементов.
Существует ли альтернатива водороду в системе Femto?
По запросу в компании «Diener electronic» для системы Femto можно рассмотреть возможность использования генератора водорода или водяного пара в качестве альтернативы водороду.
Какие варианты подключения к программному управлению доступны для системы Femto?
Благодаря полному PC-управлению плазменная система Femto от компании Diener electronic поддерживает следующие варианты подключения:
- управляющие системы верхнего уровня, например, через Profinet
- система MES, например, через OPC UA
- подключение к базе данных через ODBC
Можно ли адаптировать программное обеспечение системы управления плазменной системой Femto под наши требования?
По желанию клиента компания Diener electronic осуществляет адаптацию системы управления Full PC для модельного ряда Femto. Пожалуйста, обращайтесь к нам по этому вопросу.
Какие возможности интеграции с программным обеспечением предусмотрены для Femto?
В случае использования системы Low Cost управления Femto подключение невозможно.
Видно ли что-нибудь через смотровое стекло?
Да, в зависимости от материала возможно наблюдение за происходящим в вакуумной камере.
Нужны ли фильтры для вытяжного воздуха?
Да, все установки обязательно должны быть подключены к эффективной системе вытяжки, независимо от того, какой газ используется! При этом образуются оксиды азота, выхлопные газы, мелкий масляный туман (при использовании масляных насосов) и т. д., которые нельзя вдыхать; кроме того, эти газы часто имеют кислую реакцию, что способствует коррозии окружающих деталей, машин и оборудования.
Какова частота в системе Femto с частотой в гигагерцах?
Генераторы для системы GHz Femto работают на частоте ISM 2,45 МГц — их интенсивность сопоставима с интенсивностью микроволновой печи. Пожалуйста, уточняйте правила безопасности для людей с кардиостимуляторами.
Можно ли открыть дверцу камеры во время работы?
В обычных условиях — нет, отрицательное давление в вакууме прижимает дверцу к корпусу камеры.
Можно ли прикасаться к деталям после обработки?
Да, это безопасно — мы рекомендуем соблюдать осторожность при обращении с ним, а также надевать перчатки, чтобы избежать загрязнения. Ведь плазма удаляет органические, но не неорганические примеси. Например, в поте, оставляемом от отпечатков пальцев, содержатся соли (неорганические примеси).
Можно ли очистить детали от металлической стружки или пыли?
К сожалению, очистить поверхности от металлической стружки или пыли невозможно.
Какие загрязнения можно удалить?
С помощью плазменных установок компании Diener electronic можно удалить все органические и пленочные загрязнения размером до примерно 1 микрометра.
Как долго можно хранить активированные детали до их дальнейшей обработки?
Срок хранения деталей зависит от времени активации и материала и варьируется от нескольких минут до нескольких месяцев. Поэтому часто возникает необходимость проводить испытания на месте.
Металлы, керамика, стекло и эластомеры: несколько часов
; пластмассы (за исключением эластомеров): несколько дней, недель, месяцев
Какие поверхности можно активировать с помощью плазменной установки Femto?
С помощью плазменной установки Femto компании Diener electronic можно проводить активацию следующих поверхностей: пластмасс, металлов, стекла, керамики и текстиля.
