Femto

Плазменные установки низкого давления (Plasmacleaner)

Плазменные системы Femto могут комбинироваться в различных вариантах по типу модульной системы. Ниже приводится описание самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Femto. Плазменные системы Femto используются преимущественно в следующих областях:

Аналитика, археология, автомобилестроение, отделы исследований и разработок, полупроводниковая техника, мелкосерийное производство, технология пластмасс, медицинская техника, микросистемная техника, сенсорная техника, стерилизация, текстильные технологии

Возможности плазменной обработки

Очистка материалов

Плазменная техника предлагает решения для удаления любого вида загрязнений, обработки любого субстрата и любого способа дополнительной обработки. В процессе очистки снимаются даже молекулярные следы загрязнений.

ПОДРОБНЕЕ ОБ ОЧИСТКЕ

Активация материалов

Обязательным условием для надлежащей адгезии связывающих компонентов при окрашивании, склеивании, нанесении методом печати и приварке является хорошая смачиваемость поверхности.

ПОДРОБНЕЕ ОБ АКТИВАЦИИ

Травление материалов

Плазменная техника позволяет осуществлять неизотропное и изотропное травление. Изотропное травление выполняется путем химического травления, неизотропное травление – путем физического.

ПОДРОБНЕЕ О ТРАВЛЕНИИ

Нанесение покрытий на материалы

Плазма низкого давления используется для нанесения различных покрытий на заготовки. В этом процессе газообразные и жидкие исходные материалы подаются в вакуумную камеру.

ПОДРОБНЕЕ О НАНЕСЕНИИ ПОКРЫТИЙ

Технические характеристики

Базовое оснащение

  • Исполнение корпуса варьируется в зависимости от компонентов/опций
  • Объем камеры: 1,9 - 6 литров (в зависимости от версии)
  • Электропитание: 230 В для настольных устройств, 400 В / 3 фазы для напольных устройств

Вакуумные камеры

  • Высококачественная сталь, круглая форма, с крышкой (прибл. ∅ 100 мм, длина 278 мм или длина 600 мм)
  • Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 103 x Г 285 x В 103)
  • Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях (прибл. ∅ 103 мм x 103 мм, длина 280 мм или 600 мм)
  • Кварцевое стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 95 мм, длина 280 мм или 600 мм)
  • Боросиликатное стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 95 мм, длина 280 мм или 600 мм)

Загрузка

  • Носители материала (опция: водяное охлаждение)
  • Лодочки из кварцевого стекла
  • Вращающиеся барабаны для порошка 
  • Вращающиеся барабаны для насыпных материалов 
  • Алюминиевые листы
  • Листы из нержавеющей стали
  • Боросиликатное стекло
  • Кварцевое стекло

Электроды

  • Одно- или многоярусные
  • RIE

Системы управления

  • Полуавтоматика
  • Поворотный переключатель
  • PCCE (Microsoft Windows CE)
  • Компьютерная система управления (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Измерение давления

  • Датчик Пирани
  • Емкостный манометр (исполнение для коррозионных газов)

Таймер

  • Цифровой

Генераторы

Частоты:    

  • 40 кГц: мощность 0 - 100 Вт; 0 - 1000 Вт
  • 100 кГц: мощность 500 Вт
  • 80 кГц: мощность 1000 Вт
  • 13,56 МГц: мощность 0 - 200 Вт
  • 2,45 ГГц: мощность 0 - 100 Вт; 0 - 300 Вт

Все генераторы с бесступенчатой регулировкой 0 - 100 %

Вакуумные насосы

  • Разных размеров и разных производителей (при необходимости с угольным фильтром)

Опции

Комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, нагревательная пластина, индикатор температуры, обогреваемая камера, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, фланец для проб TEM, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опции по запросу.

МОДЕЛИ FEMTO

Просмотр моделей Femto

Просмотр моделей Femto

Просмотр моделей Femto

+49 (0)7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете