Femto

SYSTÈMES PLASMA BASSE PRESSION (NETTOYAGE AU PLASMA)

DEMANDE   Fiche technique (PDF)
 

Les systèmes plasma Femto peuvent être combinés en plusieurs versions, comme un système modulaire. Les options les plus courantes en liaison avec les systèmes plasma Femto sont indiquées ci-après. Les systèmes plasma Femto sont utilisés principalement dans les secteurs suivants :

analytique, archéologie, automobile, services de recherche et développement, technologie des semi-conducteurs, production en petites séries, plasturgie, technologie médicale, technologie des microsystèmes, capteurs, stérilisation, ingénierie textile

Modèle 1A appareil de base type A avec commande semi-automatique

Chambre à vide / récipient type A        
(cylindrique, acier inoxydable, couvercle, D : 100 mm, P : 278 mm)
Alimentation en gaz
vanne à aiguille

Modèle 1 B1 appareil de base type B avec commande semi-automatique

Chambre à vide / récipient type A 
(cylindrique, acier inoxydable, couvercle, D : 100 mm, P : 278 mm)
Alimentation en gaz
vanne à aiguille

Modèle 1 B2 appareil de base type B avec commande semi-automatique

Chambre à vide / récipient type G        
(rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
larg. : 110 mm, H : 120 mm, P : 300 mm)
Alimentation en gaz
vanne à aiguille

Modèle 1C appareil de base type C avec commande semi-automatique

Chambre à vide / récipient type G        
(rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
larg. : 110 mm, H : 120 mm, P : 300 mm)
Alimentation en gaz
vanne à aiguille

Modèle 3B appareil de base type B avec commande PC Basic (Windows CE)

Chambre sous vide / récipient type G
(rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
larg. : 110 mm, H : 120 mm, P : 300 mm)
Alimentation en gaz
MFC

Modèle 4 appareil de base type B avec commande Full PC (Windows 10 IoT)

Chambre à vide / récipient type G        
(rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
larg. : 110 mm, H : 120 mm, P : 300 mm)
Alimentation en gaz
MFC

Modèle 4 B1 appareil de base type B avec commande Full PC (Windows 10 IoT)

Chambre à vide / récipient type A        
(cylindrique, acier inoxydable, couvercle, D : 100 mm, P : 278
Alimentation en gaz
MFC

Caractéristiques techniques

Équipement de base

  • Les boîtiers varient en fonction des composants / options
  • Volume de chambre : 1,9 - 6 litres, suivant la version
  • Alimentation en tension : 230 V pour appareils de table, 400 V / 3 phases pour appareils sur pied

Chambres à vide

  • Acier inoxydable cylindrique avec couvercle (∅ 100 mm, L 278 mm ou L 600 mm env.)
  • Acier inoxydable rectangulaire, porte à charnière (larg. 103 x P 285 x H 103 env.)
  • Aluminium rectangulaire, porte à charnière (∅ 103 mm x 103 mm, L 280 mm ou L 600 mm env.)
  • Verre de quartz (UHP) cylindrique avec couvercle ou porte à charnière (∅ 95 mm, L 280 mm ou L 600 mm env.)
  • Verre borosilicate (UHP) cylindrique avec couvercle ou porte à charnière (∅ 95 mm, L 280 mm ou L 600 mm env.)

Chargement

  • Support de pièce (option : refroidissement par eau)
  • Récipients en verre de quartz
  • Tambour rotatif pour poudres 
  • Tambour rotatif pour pièces en vrac 
  • Tôle d'aluminium
  • Tôle acier inoxydable
  • Verre borosilicate
  • Verre de quartz

Électrodes

  • Un ou plusieurs niveaux
  • RIE

Systèmes de commande

  • Semi-automatique
  • Bouton rotatif
  • Commande PCCE (Microsoft Windows CE)
  • Commande PC (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Mesure de pression

  • Pirani
  • Manomètre capacitif (pour version gaz corrosif)

Minuterie

  • Numérique

Générateurs

Fréquences :    

  • 40 kHz : puissance 0- 100 W  ; 0 - 1000 W
  • 100 kHz : puissance 500 W
  • 80 kHz : puissance 1000 W
  • 13,56 MHz : puissance 0 - 200 W
  • 2,45 GHz : puissance 0- 100 W  ; 0 - 300 W

Tous les générateurs sont progressivement réglables de 0 à 100 %

Pompes à vide

  • En plusieurs tailles et provenant de différents fabricants (avec filtre à charbon actif, si nécessaire)

Autres options

Kits de pièces de rechanges, Manomètre, Version gaz corrosifs, Bouteilles de gaz, Réducteur de pression, Plaque de chauffe, Indicateur de température, Chambre chauffante, Cage de Faraday, Accessoires pour polymérisation plasma, Encres de test, Générateur d'oxygène, Aération lente, Pompage lent, Bride porte-échantillon MET, Maintenance/Service, Documentation dans la langue nationale, Installation sur site y compris formation. Autres options sur demande.

+49 7458 99931-0

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info@plasma.com

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