Plasma à Basse PressionSystème plasma Femto
Installation plasma flexible grâce à un système modulaire
Avec son volume de chambre compact d'environ 2 - 4 litres et la possibilité de le configurer selon les besoins en version de table ou sur pied, cet équipement est idéal pour la recherche, le développement et les applications de laboratoire exigeantes.
Demande
Système plasma modulaire adapté aux exigences spécifiques des processus
Le système plasma Femto peut être assemblé et conçu à partir de ses composants, à la manière d'un système modulaire. Ce système modulaire commence par le plus petit volume de chambre, celui du Femto, et s'étend jusqu'au Tetra 1440, voire au-delà, dans le domaine de la construction d'installations sur mesure, sans aucune limite. Grâce à ce concept modulaire, le système peut être configuré individuellement en version de table ou sur pied et adapté de manière optimale à vos exigences de processus.
Différentes options de commande permettent une utilisation conviviale et des processus reproductibles – des applications standardisées aux procédures plasma complexes et documentées.
Le Femto est adapté au nettoyageultra-fin, à l’activation de surface, à la gravure au plasma et au revêtement par plasma d’une grande variété de matériaux. Grâce à sa grande adaptabilité, le système est utilisé aussi bien dans les laboratoires que dans les services de développement et pour des applications proches de la production.
En tant que point d’entrée dans le concept d’installation modulaire, le Femto constitue la base d’extensions futures pouvant aller jusqu’à des installations spéciales de grand volume. Les entreprises investissent ainsi dans une solution pérenne, capable de s’adapter avec souplesse à des exigences croissantes.
Nettoyage
La ligne Plasma à Basse Pression Femto propose des solutions pour le nettoyage ultra-précis de toutes les surfaces, pour tous les substrats et pour tous les traitements de finition. Le nettoyage au plasma élimine tous les résidus organiques sans endommager le composant par des moyens chimiques ou thermiques.
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Activation
Une bonne mouillabilité de la surface est une condition préalable à l'adhérence des matériaux lors des opérations de peinture, de collage, d'impression ou de liaison. L'activation par plasma de l'installation Plasma à Basse Pression Femto crée des sites de liaison polaires et augmente l'énergie de surface.
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Revêtement
L'installation Plasma à Basse Pression Femto permet également de modifier les surfaces par revêtement. Le revêtement par plasma permet de déposer des couches hydrophobes, hydrophiles, protectrices ou isolantes de toutes sortes.
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Gravure
La technologie plasma de l'installation Plasma à Basse Pression Femto permet une gravure anisotrope et isotrope. Cela permet d'obtenir des nanostructures à la surface, ce qui augmente leur surface spécifique et améliore l'adhérence.
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2 - 4 l de chambre
L'installation à plasma Femto dispose d'un volume de chambre de 2 - 4, ce qui la rend parfaitement adaptée aux composants simples utilisés dans l'industrie et la recherche. Pour les travaux de recherche et de laboratoire, une chambre en verre borosilicaté ou en verre de quartz est disponible. Ces matériaux se distinguent par leur résistance chimique, qui garantit une grande pureté du processus. Pour certaines applications, un flacon rotatif est également disponible, garantissant un traitement homogène. Le système plasma Femto est ainsi parfaitement adapté aux applications dans le domaine de la technologie médicale ou aux travaux de laboratoire. Pour l'industrie, des chambres en acier inoxydable ou en aluminium sont disponibles, garantissant des processus industriels particulièrement sûrs et stables.
Installation RIE
Si nécessaire, le Femto offre la possibilité d'opter pour une installation RIE spécialisée dans la gravure par ions réactifs. La conception de cette installation à plasma ne se contente pas de combiner les deux méthodes de gravure (isotrope et anisotrope), elle les intègre dans une technologie de pointe. Une chambre dotée d’une porte en plexiglas permet de visualiser une chambre automatisée capable de descendre vers le composant pour le traitement au plasma, puis de remonter. La porte en verre, équipée de capteurs, empêche toute ouverture prématurée et évite ainsi toute intervention accidentelle dans le processus. Le système plasma Femto garantit ainsi une sécurité et un contrôle du processus optimaux.
Système modulaire
Fort de ses nombreuses années d'expérience et de ses concepts éprouvés, Diener electronic a mis au point un système modulaire unique en son genre qui permet de concevoir des installations de manière flexible. Afin de faciliter l'intégration dans un environnement de production existant, l'installation plasma Femto peut être montée dans un boîtier de table compact ou dans un boîtier sur pied robuste. Le choix du boîtier et de l'élément de commande s'effectue en fonction de la taille de la chambre. Le résultat : une installation de production sur mesure destinée à l'industrie et aux applications exigeantes.
Commande
Pour la version compacte de l'appareil de table, vous avez le choix entre les commandes LowCost, Basic PC et la commande semi-automatique intuitive. Avec la commande semi-automatique, les paramètres de processus sont réglables manuellement, ce qui rend son utilisation accessible sans connaissances préalables. Pour l’industrie, un boîtier sur pied robuste équipé d’une commande Low Cost ou Basic PC plus simple, avec des processus préréglés, est tout à fait adapté. Pour les environnements de production exigeants, il est possible d'opter pour une commande Full PC. Celle-ci permet l'archivage des processus, la gestion des listes d'alarmes et la connexion au réseau. La transparence des processus et leur traçabilité constituent la base d'une production efficace et rentable.
Données techniques
Dimensions du boîtier
De table
Sur pied
Commande
Semi-automatique
Low Cost PC (Windows CE)
Basic PC (Windows CE)
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
Chambre à vide
Acier inoxydable, porte à charnière
⌀ 100 mm x
P 277 mm; Le volume environ 2 litres
Acier inoxydable, porte à charnière
L 103 mm x H 103 mm x P 285 mm; Le volume environ 3 litres
Aluminium, porte à charnière
L 110 mm x H 120 mm x P 300 mm; Le volume environ 4 litres
Optionnel: Profondeur extensible de manière variable jusqu’à 3000 mm maximum
Verre de quartz, porte à charnière
⌀ 95 mm x
P 280 mm; Le volume environ 2 litres
Verre borosilicaté, porte à charnière
⌀ 95 mm x
P 279 mm; Le volume environ 2 litres
Générateur
40 kHz | Puissance 0 - 100 W
100 kHz | Puissance 0 - 500 W
13,56 MHz | Puissance 0 - 100 W
13,56 MHz | Puissance 0 - 200 W
2,45 GHz | Puissance 0 - 300 W
Alimentation en gaz
Vanne à aiguille
MFC (Mass flow controller)
Électrode
Selon les souhaits du client
Mesure de la pression
Capteur de Pirani
Ou jauge capacitive
Alimentation électrique
230 V | 16 A
400 V | 16 - 125 A
Sous réserve de modifications techniques.
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DemandeVous ne disposez pas de votre propre équipement ?
Nous nous chargeons du traitement pour vous.
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FAQ Questions fréquemment posées
Quels sont les sujets pouvant être abordés avec le Femto ?
Le Femto de Diener electronic permet de traiter tous les matériaux résistants au vide.
Quels gaz peuvent être utilisés avec le Femto ?
Dans le Femto ainsi que, de manière générale, dans le plasma à basse pression, les gaz suivants peuvent être utilisés : O₂, N₂, Ar, air ambiant, CO₂, vapeur d'eau et gaz de formiation
Ce Femto permet-il de traiter des composants sensibles à la température ?
Oui, comme il s'agit d'un plasma froid, les systèmes à plasma basse pression Femto de Diener electronic conviennent aux composants sensibles à la température.
L'installation Femto peut-elle traiter des composants magnétiques ?
Les composants magnétiques peuvent également être traités sans problème dans la chambre à vide du Femto de Diener electronic.
Les composants sensibles aux décharges électrostatiques peuvent-ils être manipulés avec le Femto ?
Oui, c'est possible avec le plasma à basse pression du Femto. Sur demande, nous pouvons réaliser un essai dans notre service des procédés.
Quelle est la plage de pression typique généralement observée dans la chambre à vide du Femto ?
La plage de pression typique du Femto est comprise entre 0,1 et 1,0 mbar (réglable), en fonction des procédés au plasma à basse pression définis.
Quelle est la température de traitement habituelle du Femto dans la chambre à vide ?
Sur le Femto de Diener electronic, la température varie généralement entre la température ambiante et environ 80 °C, en fonction du composant, du type de chambre, de la durée du processus et de la quantité chargée. Des températures plus élevées peuvent être atteintes sur demande auprès de Diener electronic à l'aide d'éléments chauffants.
Existe-t-il une alternative à l'hydrogène dans le système Femto ?
Sur demande auprès de Diener electronic, il est possible d'envisager, pour le système Femto, l'utilisation d'un générateur d'hydrogène ou de vapeur d'eau comme alternative à l'hydrogène.
Quelles sont les possibilités de connexion à un système de commande logicielle offertes par le système Femto ?
Grâce à sa commande entièrement par PC, le système plasma Femto de Diener electronic offre les possibilités de connexion suivantes :
- des systèmes de commande de niveau supérieur, par exemple via Profinet
- système MES, par exemple via OPC UA
- Connexion à une base de données via ODBC
Le logiciel de commande du système plasma Femto peut-il être adapté à nos besoins ?
Sur demande, chez Diener electronic, nous adaptons le système de commande entièrement PC de la série Femto. N'hésitez pas à nous contacter à ce sujet.
Quelles sont les possibilités d'interfaçage avec des logiciels offertes par le Femto ?
Avec la commande « Low Cost » du Femto, aucune connexion n'est possible.
Peut-on voir à travers le hublot ?
Oui, selon le matériau, il est possible de voir à l'intérieur de la chambre à vide.
Les filtres d'évacuation d'air sont-ils nécessaires ?
Oui, toutes les installations doivent impérativement être raccordées à un système d'évacuation des gaz brûlés, quel que soit le type de gaz utilisé ! Ils génèrent des oxydes d'azote, des gaz d'échappement, de fines brouillards d'huile (dans le cas des pompes à huile), etc., qui ne doivent pas être inhalés ; de plus, ces gaz sont souvent acides, ce qui favorise la corrosion des pièces, machines et installations environnantes.
Quelle est la fréquence de l'installation GHz Femto ?
Les générateurs du système GHz Femto fonctionnent sur la fréquence ISM de 2,45 MHz, avec une intensité comparable à celle d'un four à micro-ondes. Veuillez vous renseigner sur les consignes de sécurité applicables aux personnes portant un stimulateur cardiaque.
La porte de la chambre peut-elle être ouverte pendant le fonctionnement ?
Dans des conditions normales, non : la dépression créée par le vide plaque la porte contre le corps de la chambre.
Peut-on toucher les pièces après le traitement ?
Oui, cela ne présente aucun risque – nous recommandons toutefois de manipuler le produit avec précaution et de porter des gants afin d'éviter toute contamination. En effet, le plasma élimine les impuretés organiques, mais pas les impuretés inorganiques. Par exemple, la sueur des empreintes digitales contient des sels (impuretés inorganiques).
Est-il possible d'éliminer les copeaux métalliques ou la poussière des composants ?
Il n'est malheureusement pas possible de nettoyer les surfaces pour éliminer les copeaux métalliques ou la poussière.
Quelles impuretés peuvent être éliminées ?
Toutes les impuretés organiques sous forme de film, d'une taille allant jusqu'à environ 1 micromètre, peuvent être éliminées à l'aide des systèmes plasma de Diener electronic.
Combien de temps les pièces activées peuvent-elles être stockées avant leur transformation ultérieure ?
La durée de stockage des composants dépend du temps d'activation et du matériau, et varie de quelques minutes à plusieurs mois. C'est pourquoi il est souvent nécessaire de réaliser des essais sur site.
Métaux, céramiques, verre et élastomères : quelques heures
; plastiques (à l'exception des élastomères) : plusieurs jours, semaines, mois
Quelles surfaces peuvent être activées à l'aide de l'installation plasma Femto ?
L'installation plasma Femto de Diener electronic permet d'activer les surfaces suivantes : plastiques, métaux, verres, céramiques et textiles.
