Низкозатратная низконапорная плазмаПлазменная установка Zepto
Плазменная установка с гибкой конфигурацией для лабораторных и опытно-конструкторских работ
Low Cost установка Zepto сочетает в себе компактную конструкцию и высокую функциональность для профессионального применения плазмы. Благодаря объему камеры около 0 - 3 литров она идеально подходит для лабораторных работ, научных исследований, а также мелкосерийного производства.
Сделать запрос
Универсальная Low Cost плазменная установка для широкого спектра применений
Недорогая плазменная установка Zepto сочетает в себе функциональность и новейшие технологии в компактном корпусе. Благодаря объему камеры до 0 - 3 литров установка подходит для обработки самых разных деталей и образцов материалов. В зависимости от области применения можно выбрать полуавтоматическое управление или удобное Low Cost управление с помощью PC. Это позволяет легко управлять плазменными процессами и обеспечивать их воспроизводимость.
Низконапорная плазменная установка Zepto применяется во многих отраслях. К ним относятся, в частности, научные исследования и разработки, аналитика, медицинская техника, производство пластмасс, текстильная промышленность, а также мелкосерийное производство. Везде, где необходимо очистить, активировать или подготовить поверхности для последующих процессов, установка Zepto обеспечивает надёжные результаты.
Благодаря сочетанию компактной конструкции, гибкого оснащения и простоты управления установка Zepto подходит как для лабораторных условий, так и для процессов разработки, близких к производству.
Очистка
Лабораторная установка Низкозатратная низконапорная плазма Zepto предлагает решения для стерильной ультраточной очистки любых поверхностей и любых материалов. Плазменная очистка удаляет все органические остатки, не подвергая деталь химическому или термическому воздействию.
Дополнительная информация
Активировать
Условием для прилипания материалов является хорошая смачиваемость поверхности. Плазменная активация в установке Низкозатратная низконапорная плазма Zepto производится сразу после очистки и повышает поверхностную энергию.
Дополнительная информация
0 - 3 л камера
Плазменная установка Zepto оснащена камерой объемом 0 - 3 л, что оптимально подходит для небольших образцов. Компактная технологическая камера обеспечивает короткое время вакуумирования и короткие циклы обработки, что позволяет добиться эффективных и экономичных результатов. Камера изготовлена из боросиликатного стекла, которое обладает особой химической стойкостью и, следовательно, высокой степенью чистоты. Благодаря этим свойствам Zepto идеально подходит для применения в медицинской технике, а также в лабораторных и научно-исследовательских работах, где предъявляются высокие требования к чистоте. Кроме того, электрод, расположенный снаружи камеры, предотвращает появление даже минимальных загрязнений в результате распыления материала. Для определённых применений также доступен поворотный флакон, обеспечивающий равномерную обработку. Благодаря продуманной конструкции Zepto компания Diener electronic помогает удовлетворить высокие требования к чистоте и создает условия для безопасных и воспроизводимых процессов. Кроме того, доступна опция в виде RIE-камеры в форме колокола, которая позволяет использовать реактивное ионное травление в качестве технологии сухого травления. Этот метод в основном применяется при фотолитографическом производстве чипов из PDMS, а также при склеивании Lab-On-Chip. Вакуумная камера установки RIE изготовлена из алюминия и имеет металлический электрод в центре.
Экономичная Low Cost установка с низкими эксплуатационными расходами
Плазменная система Zepto сочетает в себе новейшие плазменные технологии, компактный корпус и интуитивно понятный интерфейс. Благодаря компактной конструкции Zepto можно быстро интегрировать в лабораторную и исследовательскую среду. Она обеспечивает высокоэффективную плазменную обработку при минимальных габаритах. Являясь экономичным решением, эта плазменная установка позволяет легко начать работу в области профессиональной плазменной обработки поверхностей. Сочетание низких инвестиционных и эксплуатационных затрат с стабильным качеством процессов обеспечивает экономичную работу даже в сложных условиях эксплуатации.
Простое управление
Несмотря на применение новейших технологий, система Zepto оснащена удобной и Low Cost системой управления на базе PC, которая обеспечивает простоту эксплуатации. В блоке управления под управлением Windows CE все процессы запрограммированы с помощью предустановленных программ, поэтому никаких предварительных знаний или обширных курсов обучения не требуется. Она обеспечивает обзор текущего состояния, а также удобное управление программами. Простота управления облегчает освоение плазменной технологии и обеспечивает эффективную работу.
Технические данные
Габариты корпуса
Настольный
Блок управления
Полуавтоматический
Low Cost PC (Windows CE)
Вакуумная камера
Боросиликатное стекло, Распашная дверца
⌀ 105 мм x
Г 300 мм; объем примерно 3 литров
алюминий, с крышкой
⌀ 150 мм x
В 60 мм; объем примерно 1 литров
генератор
40,00 кГц | Выходная мощность 0 - 100 W
13,56 МГц | Выходная мощность 0 - 200 W
Подача газа
Игольчатый клапан
MFC (Mass flow controller)
Электрод
Вне вакуумной камеры
Электрод RIE
Измерение давления
Датчик Пирани
Источник питания
230 V | 16 A
Возможны технические изменения.
Получить индивидуальное предложение для Низкозатратная низконапорная плазма Zepto?
Сделать запрос Откройте варианты моделейВарианты моделей
Zepto
Полуавтоматический режим, кГц
Габариты корпуса
НастольныйШ 425 мм x В 185 мм x Г 450 мм
Блок управления
Полуавтоматический
Вакуумная камера
Боросиликатное стекло
,
Распашная дверца
⌀ 105 мм x
Г 300 мм
объем примерно
3
литров
генератор
40,00 кГц | Выходная мощность 0 - 100 W
Подача газа
2 x Игольчатый клапан
Электрод
Вне вакуумной камеры
Измерение давления
Датчик Пирани
Источник питания
230 V | 16 A
Zepto
Полуавтоматический режим, МГц
Габариты корпуса
НастольныйШ 425 мм x В 185 мм x Г 450 мм
Блок управления
Полуавтоматический
Вакуумная камера
Боросиликатное стекло
,
Распашная дверца
⌀ 105 мм x
Г 300 мм
объем примерно
3
литров
генератор
13,56 МГц | Выходная мощность 0 - 200 W
Подача газа
2 x Игольчатый клапан
Электрод
Вне вакуумной камеры
Измерение давления
Датчик Пирани
Источник питания
230 V | 16 A
Zepto
PC кГц
Габариты корпуса
НастольныйШ 425 мм x В 185 мм x Г 450 мм
Блок управления
Low Cost PC
Вакуумная камера
Боросиликатное стекло
,
Распашная дверца
⌀ 105 мм x
Г 300 мм
объем примерно
3
литров
генератор
40,00 кГц | Выходная мощность 0 - 100 W
Подача газа
2 x MFC (Mass flow controller)
Электрод
Вне вакуумной камеры
Измерение давления
Датчик Пирани
Источник питания
230 V | 16 A
Zepto
Частота PC (МГц)
Габариты корпуса
НастольныйШ 425 мм x В 185 мм x Г 450 мм
Блок управления
Low Cost PC
Вакуумная камера
Боросиликатное стекло
,
Распашная дверца
⌀ 105 мм x
Г 300 мм
объем примерно
3
литров
генератор
13,56 МГц | Выходная мощность 0 - 200 W
Подача газа
2 x MFC (Mass flow controller)
Электрод
Вне вакуумной камеры
Измерение давления
Датчик Пирани
Источник питания
230 V | 16 A
Zepto
RIE, полуавтоматический, МГц
Габариты корпуса
НастольныйШ 425 мм x В 310 мм x Г 450 мм
Блок управления
Полуавтоматический
Вакуумная камера
алюминий
,
с крышкой
⌀ 150 мм x
В 60 мм
объем примерно
1
литров
генератор
13,56 МГц | Выходная мощность 0 - 200 W
Подача газа
2 x Игольчатый клапан
Электрод
Электрод RIE
Измерение давления
Датчик Пирани
Источник питания
230 V | 16 A
Габариты корпуса
Блок управления
Вакуумная камера
генератор
Подача газа
Электрод
Измерение давления
Источник питания
Другие интересные продукты
FAQ Часто задаваемые вопросы
Подходит ли плазменная установка Zepto для непрерывной работы?
Low Cost-установка Zepto для научных исследований и технических разработок не предназначена для непрерывной эксплуатации.
Что всего можно рассматривать с помощью Zepto?
С помощью Zepto компании Diener electronic можно обрабатывать все материалы, устойчивые к воздействию вакуума.
Можно ли наносить покрытие с помощью установки Zepto?
К сожалению, с помощью установки Zepto из серии «Low Cost» нанести покрытие на поверхность невозможно.
Можно ли выполнять травление на оборудовании Zepto?
К сожалению, на установке Zepto из серии Low Cost невозможно провести травление поверхности.
Какие газы можно использовать в Zepto?
В данной Zepto, а также в целом в низконапорной плазме могут использоваться следующие газы: O2, N2, Ar, атмосферный воздух, CO2, пары H2O и формирующий газ
Может ли установка Zepto обрабатывать магнитные детали?
Магнитные компоненты также можно успешно обрабатывать в вакуумной камере Zepto компании Diener electronic.
Можно ли обрабатывать с помощью Zepto компоненты, чувствительные к температуре?
Да, поскольку речь идет о холодной плазме, установки низкодавления Zepto компании Diener electronic подходят для температурно-чувствительных компонентов.
Можно ли обрабатывать компоненты, чувствительные к электростатическому разряду (ESD), с помощью Zepto?
Да, с помощью низкодавления плазмы Zepto это возможно. По запросу можно провести испытание в нашем технологическом отделе.
Какой диапазон давления обычно наблюдается в вакуумной камере Zepto?
Типичный диапазон давления Zepto составляет 0,1–1,0 мбар (регулируемый), в зависимости от заданного процесса низкодавления в плазме.
Какова типичная температура процесса в вакуумной камере Zepto?
В Zepto компании Diener electronic температура обычно колеблется от комнатной до примерно 80 °C — в зависимости от компонента, типа камеры, продолжительности процесса и объема загрузки. По запросу компании Diener electronic можно обеспечить более высокие температуры с помощью нагревательных элементов.
Какие возможности интеграции с программным обеспечением предусмотрены для Zepto?
В случае использования системы Low Cost управления Zepto подключение невозможно.
Требуются ли фильтры для вытяжного воздуха для Zepto?
Да, все установки обязательно должны быть подключены к эффективной системе вытяжки, независимо от того, какой газ используется. При работе образуются оксиды азота, выхлопные газы, мелкий масляный туман (при использовании масляных насосов) и т. д., которые нельзя вдыхать; кроме того, эти газы часто имеют кислую реакцию, что способствует коррозии окружающих деталей, машин и оборудования.
Какие поверхности можно активировать с помощью плазменной установки Zepto?
С помощью плазменной установки Zepto компании Diener electronic можно проводить активацию следующих поверхностей: пластмасс, металлов, стекла, керамики и текстиля.
Какова частота в системе Zepto с частотой в гигагерцах?
Генераторы для системы GHz Zepto работают на частоте ISM 2,45 МГц — их интенсивность сопоставима с интенсивностью микроволновой печи. Пожалуйста, уточняйте правила безопасности для людей с кардиостимуляторами.
