Глоссарий технологии обработки поверхностей
13,56 МГц
ISM-частота, используемая в качестве рабочей частоты источников плазмы. Результирующая плазма ввиду длины волны обозначается как RF-плазма (RF = Radio Frequency)
ISM-частота, используемая в качестве рабочей частоты источников плазмы. Результирующая плазма ввиду длины волны обозначается как RF-плазма (RF = Radio Frequency)
Поговорите с экспертом
Напишите нам
Вы точно знаете, что ищете