SIMS

Sekundärionen-Massenspektrometrie, empfindliche Methode zur Analyse dünner Schichten. Hierbei wird eine Oberfläche mit energiereichen Primärionen beschossen, wodurch neben anderen Teilchen auch Sekundärionen aus dem Schichtmaterial emittiert werden. Diese sind direkt mittels Massenspektrometrie detektierbar.