SIMS

Масс-спектрометрия вторичных ионов, чувствительный метод анализа тонких слоев. Поверхность бомбардируется первичными ионами высокой энергии, из-за чего наряду с другими частицами из материала слоя испускаются вторичные ионы. Их можно напрямую регистрировать посредством масс-спектрометрии.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете