Масс-спектрометрия вторичных ионов, чувствительный метод анализа тонких слоев. Поверхность бомбардируется первичными ионами высокой энергии, из-за чего наряду с другими частицами из материала слоя испускаются вторичные ионы. Их можно напрямую регистрировать посредством масс-спектрометрии.
