Plasma à basse pression à faible coûtSystème plasma Zepto
Installation plasma à configuration flexible pour le laboratoire et le développement
L'installation Low Cost Zepto allie une conception compacte à une grande fonctionnalité pour les applications plasma professionnelles. Avec un volume de chambre d'environ 0 - 3 litres, elle est idéale pour les applications en laboratoire, la recherche et la production en petites séries.
Demande
Installation plasma flexible Low Cost pour des applications variées
L'installation plasma Low Cost Zepto allie fonctionnalité et technologie de pointe dans un boîtier compact. Avec un volume de chambre pouvant atteindre 0 - 3 litres, cette installation convient à une grande variété de composants et d'échantillons de matériaux. En fonction du domaine d'application, il est possible de choisir entre une commande semi-automatique ou une commande Low Cost par PC conviviale. Cela permet de piloter facilement les processus plasma et de les réaliser de manière reproductible.
L'installation à plasma basse pression Zepto est utilisée dans de nombreux secteurs. Parmi ceux-ci figurent notamment la recherche et le développement, l'analyse, la technologie médicale, la technologie des plastiques, la technologie textile ainsi que la production en petites séries. Partout où des surfaces doivent être nettoyées, activées ou préparées pour des processus ultérieurs, le Zepto fournit des résultats fiables.
Grâce à la combinaison d’une conception compacte, d’un équipement flexible et d’une utilisation simple, le Zepto convient aussi bien aux environnements de laboratoire qu’aux processus de développement proches de la production.
Nettoyage
L'installation de laboratoire Plasma à basse pression à faible coût Zepto propose des solutions pour le nettoyage stérile de haute précision de toutes les surfaces, quel que soit le substrat. Le nettoyage au plasma élimine tous les résidus organiques sans endommager le composant par des moyens chimiques ou thermiques.
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Activer
La bonne mouillabilité de la surface est une condition préalable à l'adhérence des partenaires de liaison. L'activation par plasma dans l'installation Plasma à basse pression à faible coût Zepto intervient immédiatement après le nettoyage et augmente l'énergie de surface.
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0 - 3 l de chambre
L'installation à plasma Zepto est dotée d'une chambre d'un volume de 0 - 3 l, ce qui la rend parfaitement adaptée aux petits échantillons. La chambre de traitement compacte garantit un temps de mise sous vide court et des durées de traitement réduites, pour des résultats efficaces et économiques. La chambre est en verre borosilicaté, qui présente une résistance chimique particulière et donc un haut degré de pureté. Grâce à ces propriétés, le Zepto est idéal pour les applications dans le domaine de la technologie médicale ainsi que pour les travaux de laboratoire et de recherche où des exigences élevées en matière de pureté doivent être respectées. De plus, une électrode située à l’extérieur de la chambre empêche toute contamination, même minime, due à la projection de particules du matériau. Pour certaines applications, un flacon rotatif est également disponible afin d’assurer un traitement uniforme. Grâce à la conception sophistiquée du Zepto, Diener electronic répond aux exigences de pureté les plus strictes et offre les conditions nécessaires à des processus sûrs et reproductibles. Il est également possible d’opter pour une chambre en cloche RIE, qui permet la gravure ionique réactive en tant que technique de gravure à sec. Ce procédé est principalement utilisé dans la fabrication photolithographique de puces PDMS ainsi que dans le collage de puces « Lab-On-Chip ». La chambre à vide d'un système RIE est en aluminium et comporte une électrode métallique en son centre.
Installation économique Low Cost
Le système plasma Zepto allie une technologie plasma de pointe à un boîtier compact et à une interface utilisateur intuitive. Grâce à sa conception compacte, le Zepto s'intègre rapidement dans un environnement de laboratoire et de recherche. Il offre un traitement au plasma performant dans un format peu encombrant. Solution économique, ce système plasma permet de se lancer facilement dans le traitement professionnel des surfaces par plasma. La combinaison de faibles coûts d'investissement et d'exploitation avec une qualité de processus constante permet de travailler de manière rentable dans des applications exigeantes.
Commande simple
Malgré une technologie de pointe, la Zepto est équipée d'un système de commande simple et Low Cost basé sur un PC, qui permet une utilisation aisée. Dans l'unité de commande fonctionnant sous Windows CE, tous les processus sont enregistrés sous forme de programmes prédéfinis, ce qui rend superflues toute connaissance préalable ou formation approfondie. Elle offre un aperçu de l'état actuel ainsi qu'une gestion claire des programmes. Sa simplicité d'utilisation facilite l'initiation à la technologie plasma et garantit un travail efficace.
Données techniques
Dimensions du boîtier
De table
Commande
Semi-automatique
Low Cost PC (Windows CE)
Chambre à vide
Verre borosilicaté, porte à charnière
⌀ 105 mm x
P 300 mm; Le volume environ 3 litres
Aluminium, avec couvercle
⌀ 150 mm x
H 60 mm; Le volume environ 1 litres
Générateur
40,00 kHz | Puissance 0 - 100 W
13,56 MHz | Puissance 0 - 200 W
Alimentation en gaz
Vanne à aiguille
MFC (Mass flow controller)
Électrode
À l'extérieur de la chambre à vide
Électrode RIE
Mesure de la pression
Capteur de Pirani
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Sous réserve de modifications techniques.
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Services de traitement de surfaceVariantes de modèles
Zepto
Semi-automatique kHz
Dimensions du boîtier
De tableL 425 mm x H 185 mm x P 450 mm
Commande
Semi-automatique
Chambre à vide
Verre borosilicaté
,
porte à charnière
⌀ 105 mm x
P 300 mm
Le volume environ
3
litres
Générateur
40,00 kHz | Puissance 0 - 100 W
Alimentation en gaz
2 x Vanne à aiguille
Électrode
À l'extérieur de la chambre à vide
Mesure de la pression
Capteur de Pirani
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Zepto
Semi-automatique MHz
Dimensions du boîtier
De tableL 425 mm x H 185 mm x P 450 mm
Commande
Semi-automatique
Chambre à vide
Verre borosilicaté
,
porte à charnière
⌀ 105 mm x
P 300 mm
Le volume environ
3
litres
Générateur
13,56 MHz | Puissance 0 - 200 W
Alimentation en gaz
2 x Vanne à aiguille
Électrode
À l'extérieur de la chambre à vide
Mesure de la pression
Capteur de Pirani
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Zepto
PC kHz
Dimensions du boîtier
De tableL 425 mm x H 185 mm x P 450 mm
Commande
Low Cost PC
Chambre à vide
Verre borosilicaté
,
porte à charnière
⌀ 105 mm x
P 300 mm
Le volume environ
3
litres
Générateur
40,00 kHz | Puissance 0 - 100 W
Alimentation en gaz
2 x MFC (Mass flow controller)
Électrode
À l'extérieur de la chambre à vide
Mesure de la pression
Capteur de Pirani
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Zepto
PC MHz
Dimensions du boîtier
De tableL 425 mm x H 185 mm x P 450 mm
Commande
Low Cost PC
Chambre à vide
Verre borosilicaté
,
porte à charnière
⌀ 105 mm x
P 300 mm
Le volume environ
3
litres
Générateur
13,56 MHz | Puissance 0 - 200 W
Alimentation en gaz
2 x MFC (Mass flow controller)
Électrode
À l'extérieur de la chambre à vide
Mesure de la pression
Capteur de Pirani
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Zepto
RIE semi-automatique MHz
Dimensions du boîtier
De tableL 425 mm x H 310 mm x P 450 mm
Commande
Semi-automatique
Chambre à vide
Aluminium
,
avec couvercle
⌀ 150 mm x
H 60 mm
Le volume environ
1
litres
Générateur
13,56 MHz | Puissance 0 - 200 W
Alimentation en gaz
2 x Vanne à aiguille
Électrode
Électrode RIE
Mesure de la pression
Capteur de Pirani
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Dimensions du boîtier
Commande
Chambre à vide
Générateur
Alimentation en gaz
Électrode
Mesure de la pression
Alimentation électrique
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FAQ Questions fréquemment posées
Le système plasma Zepto est-il adapté à un fonctionnement continu ?
L'installation Low Cost Zepto destinée à la recherche et à la technologie n'est pas adaptée à un fonctionnement en continu.
Quels sont les sujets pouvant être abordés avec le Zepto ?
Le Zepto de Diener electronic permet de traiter tous les matériaux résistants au vide.
Peut-on appliquer un revêtement avec l'installation Zepto ?
Avec l'installation Zepto de la gamme Low Cost, il n'est malheureusement pas possible de revêtir la surface.
Peut-on le graver à l'acide avec l'installation Zepto ?
Avec l'installation Zepto de la gamme Low Cost, il n'est malheureusement pas possible de graver la surface.
Quels gaz peuvent être utilisés avec le Zepto ?
Dans le Zepto ainsi que, de manière générale, dans le plasma à basse pression, les gaz suivants peuvent être utilisés : O₂, N₂, Ar, air ambiant, CO₂, vapeur d'eau et gaz de formiation
L'installation Zepto peut-elle traiter des composants magnétiques ?
Les composants magnétiques peuvent également être traités sans problème dans la chambre à vide du Zepto de Diener electronic.
Ce Zepto permet-il de traiter des composants sensibles à la température ?
Oui, comme il s'agit d'un plasma froid, les systèmes à plasma basse pression Zepto de Diener electronic conviennent aux composants sensibles à la température.
Les composants sensibles aux décharges électrostatiques peuvent-ils être manipulés avec le Zepto ?
Oui, c'est possible avec le plasma à basse pression du Zepto. Sur demande, nous pouvons réaliser un essai dans notre service des procédés.
Quelle est la plage de pression typique généralement observée dans la chambre à vide du Zepto ?
La plage de pression typique du Zepto est comprise entre 0,1 et 1,0 mbar (réglable), en fonction des procédés au plasma à basse pression définis.
Quelle est la température de traitement habituelle du Zepto dans la chambre à vide ?
Sur le Zepto de Diener electronic, la température varie généralement entre la température ambiante et environ 80 °C, en fonction du composant, du type de chambre, de la durée du processus et de la quantité chargée. Des températures plus élevées peuvent être atteintes sur demande auprès de Diener electronic à l'aide d'éléments chauffants.
Quelles sont les possibilités d'interfaçage avec des logiciels offertes par le Zepto ?
Avec la commande « Low Cost » du Zepto, aucune connexion n'est possible.
Faut-il installer des filtres d'évacuation d'air sur le Zepto ?
Oui, toutes les installations doivent impérativement être raccordées à un système d'évacuation d'air efficace, quel que soit le gaz utilisé. Ils génèrent des oxydes d'azote, des gaz d'échappement, de fins brouillards d'huile (dans le cas des pompes à huile), etc., qui ne doivent pas être inhalés ; de plus, ces gaz sont souvent acides, ce qui favorise la corrosion des pièces, machines et installations environnantes.
Quelles surfaces peuvent être activées à l'aide de l'installation plasma Zepto ?
L'installation plasma Zepto de Diener electronic permet d'activer les surfaces suivantes : plastiques, métaux, verres, céramiques et textiles.
Quelle est la fréquence de l'installation GHz Zepto ?
Les générateurs du système GHz Zepto fonctionnent sur la fréquence ISM de 2,45 MHz, avec une intensité comparable à celle d'un four à micro-ondes. Veuillez vous renseigner sur les consignes de sécurité applicables aux personnes portant un stimulateur cardiaque.
