Decapante de plasma

 diseñado o equipado especialmente para el Sistema de plasma diseñado o equipado especialmente para el grabado eficiente en el plasma de oxígeno. Con el decapante de plasma, se eliminan sobre todo máscaras de laca fotosensible una vez finalizada la estructuración. Las lacas fotosensibles están compuestas por resinas orgánicas, que pueden extraerse a la perfección mediante grabado con plasma isotrópico en el plasma de oxígeno. Las capas de laca fotosensible pueden ser gruesas, por lo que se necesita una alta tasa de grabado. El gran número de radicales necesarios puede generarse con especial facilidad por excitación de microondas. Por lo tanto, un decapante de plasma está equipado preferentemente con un acoplamiento de microondas. Si la excitación de plasma se produce fuera del lugar de tratamiento, los iones no actúan, lo que permite evitar la carga y el grabado anisotrópico del sustrato.