Fotolitografía

Transferencia de una estructura geométrica a un sustrato por medio de una máscara, compuesta por una laca fotosensible. La laca fotosensible, ya sea positiva o negativa, se aplica sobre la superficie del sustrato que vaya a someterse a grabado y, a continuación, se insola con la estructura geométrica que se desee grabar. Tras el posterior revelado, se muestran las zonas insoladas (laca positiva) o no insoladas (laca negativa), y queda expuesta la capa de sustrato en dichas zonas. Si, por ejemplo, se somete toda la superficie a grabado iónico reactivo (RIE), solamente se modifican las zonas expuestas del sustrato.