Plasmastripper

травления в кислородной плазме плазменная установка. Plasmastripper используется в первую очередь для удаления масок из фоторезистапосле завершения структурирования. Фоторезисты состоят из органических смол, очень хорошо снимаемых изотропным плазменным травлением в кислородной плазме. Слои фоторезиста могут быть достаточно толстыми, поэтому необходима высокая скорость травления. Требуемое высокое количество радикалов обеспечивается за счет микроволнового возбуждения. Таким образом, Plasmastripper преимущественно оснащаются микроволновой подачей энергии. Если возбуждение плазмы осуществляется за пределами рабочей камеры, то ионы не действуют на поверхность. Это помогает предотвратить накопление заряда и обеспечить изотропное травление субстрата.