Grabado

Proceso consistente en la extracción de material de una superficie, por lo general mediante reacción química. No obstante, también reciben el nombre de grabado determinados procesos físicos (grabado físico, grabado iónico). Procesos específicos de grabado:

• Limpieza de superficies a base de extraer capas de óxido o capas pasivantes.
• Estructuración de la superficie, por ejemplo, por cuestiones ópticas (apariencia mate) o para mejorar su adherencia al aumentar su rugosidad.
• Creación de estructuras geométricas cubriendo partes una superficie con una máscara, a fin de que el proceso de grabado solamente actúe en las zonas de libre acceso.

Los procesos de grabado se llevan a cabo bien por inmersión en soluciones ácidas o alcalinas, bien mediante tratamiento con plasma ("grabado con plasma") en un gas de proceso adecuado. Ejemplos de materiales en los que se aplican procesos de grabado con plasma: silicio, SiO₂ y Si₄N₃ en microelectrónica, metales con óxido superficial y plásticos de baja adherencia, como el PTFE.