TOF-SIMS

Abreviatura de "Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry" (espectrometría de masas de iones secundarios por tiempo de vuelo), método de análisis de superficies en el que se bombardea un haz de iones pulsado hacia la superficie estudiada. En función del tiempo de vuelo de los iones secundarios emitidos, pueden determinarse con exactitud su masa y, por tanto, su elemento.