УФ-излучение
атомы до состояния трансформации в ионы, а также может расщеплять молекулы и преобразовывать их в радикалы. В этом процессе УФ-излучение поглощается. В воздушной оболочке молекулы O2 под действием ионизирующего УФ-излучения расщепляются на радикалы кислорода. Такие радикалы могут снова объединяться в молекулы O2 или O3. Молекулы O3 называют озоном. В процессе этой реакции практически все УФ-излучение поглощается в очень высоких воздушных слоях. В более глубоких слоях радикалы в сколь-нибудь значимых объемах не образуются, поэтому озон тоже почти не формируется. По этой причине озоновый слой ограничен высокими слоями атмосферы. И наоборот, УФ-излучение, в частности ионизирующее, испускается, если электроны захватываются положительными ионами, которые рекомбинируются в нейтральные атомы. Рекомбинация в атом в основном состоянии происходит в плазме параллельно с ионизацией, возбуждением и образованием радикалов, поэтому постоянно генерируется УФ-излучение. При возврате возбужденных атомов в основное состояние возникает видимое излучение меньшей энергии – типичное свечение плазмы). Возникшее в плазме УФ-излучение способствует образованию радикалов на поверхности субстратов и трансформации составляющих твердого тела в летучие частицы. Этот процесс имеет большое значение при очистке, активации и травлении в плазме.
