Глоссарий технологии обработки поверхностей
Ион
электронов в оболочку атома или молекулы возникает отрицательно заряженный ион (анион), а при удалении одного или нескольких электронов – положительно заряженный ион (катион).
Помимо возбуждения плазмой, ионы возникают, например, в процессе электролиза.