Плазменная полимеризация

молекулы полимеризуются в плазме и оседают на субстрате. Плазменная полимеризация запускается путем разрыва связей в молекулах мономера, поэтому в плазме возможна полимеризация также насыщенных соединений. Плазменные полимеры в целом характеризуются менее упорядоченной структурой молекул и более высокой степенью образования поперечных связей, чем аналогичные полимеры, выполненные в жидкой фазе. С плазменными технологиями можно наносить разнообразные покрытия на поверхности материалов:

• PTFE-подобные слои
• Создание гидрофобных покрытий с HMDSO
• Создание гидрофильных покрытий с винилацетатом
• Эпиламирование путем полимеризации фтористых мономеров (CF₄)
• Плазменный химический метод осаждения из газовой фазы (PACVD, PECVD)
• Барьерные слои для предотвращения диффузии, пермеации
• Декоративные покрытия

Примеры