Плазменная полимеризация
молекулы полимеризуются в плазме и оседают на субстрате. Плазменная полимеризация запускается путем разрыва связей в молекулах мономера, поэтому в плазме возможна полимеризация также насыщенных соединений. Плазменные полимеры в целом характеризуются менее упорядоченной структурой молекул и более высокой степенью образования поперечных связей, чем аналогичные полимеры, выполненные в жидкой фазе. С плазменными технологиями можно наносить разнообразные покрытия на поверхности материалов:
- PTFE-подобные слои
- Создание гидрофобных покрытий с HMDSO
- Создание гидрофильных покрытий с винилацетатом
- Эпиламирование путем полимеризации фтористых мономеров (CF4)
- Плазменный химический метод осаждения из газовой фазы (PACVD, PECVD)
- Барьерные слои для предотвращения диффузии, пермеации
- Декоративные покрытия
Примеры
