Травление

ионное травление). Процессами травления являются прежде всего:

  • Очистка поверхностей за счет съема оксидных и пассивных слоев
  • Структурирование поверхностей, например для достижения оптических эффектов (матирование) или улучшения склеиваемости за счет увеличения площади поверхности.
  • Создание геометрических структур: части поверхности закрываются маской, и процесс травления действует только на открытых участках.

Процессы травления выполняются путем погружения в кислые или щелочные растворы либо плазменной обработкойПлазменное травление») в среде подходящего технологического газа . Примерами применения плазменного травления являются обработка кремния, SiO2 и Si4N3 в микроэлектронике, улучшение металлов с поверхностными окислами, а также обработка пластмасс с плохой адгезией – например, PTFE.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете