Полупроводник

кремний , а также такие соединения, как арсенид галлия. Эти полупроводники имеют особое значение прежде всего оттого, что их электрические свойства можно очень разносторонне менять путем добавления незначительного количества примесных атомов. С помощью плазмы полупроводники можно подвергать сверхтонкой очистке, а также очень тонко структурировать плазменным травлением с маской из фоторезиста.